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工業(yè)中常見的泄漏檢測方法有

• 水檢測試法

• 壓降/壓差測試法

• 氫氣測試法 

• 氦氣泄漏測試

水檢測試法：

該方法是將充滿氣的部件放入水中,，看氣泡出來,。

在泄漏0.06sccm下，每秒在理想的情況下能夠產(chǎn)生一個泡?，F(xiàn)實當(dāng)中,，氣泡不能夠很簡單的離開元件表面，所以這種檢漏方法一般只能到達(dá)0.6sccm.限制了該方法的工業(yè)應(yīng)用,。

壓降/壓差測試法：

工業(yè)中目前普遍采用的是壓力衰減模式,，測試工件內(nèi)充入規(guī)定的測試壓力的空氣或者氮氣，經(jīng)過一段時間的穩(wěn)定,，測試壓力的下降,，根據(jù)產(chǎn)品的容積計算出泄漏流量,，計算公式如下：

壓力泄漏測試法，有以下因素干擾：

√ 溫度問題

√ 不適用于柔性測試樣本

常壓腔氦或氫累積泄漏檢測法：

方法是在非真空狀態(tài)下通過簡單累積室進行的,。與空氣測試不同,，INFICON 累積法的測試結(jié)果不受溫度或濕度的影響，產(chǎn)生極其可靠的測試結(jié)果,，具有很高的可重復(fù)性,。

√ 常壓下的檢漏技術(shù)

√ 簡易、低成本累積腔體

√ 檢漏精度到達(dá)10-5mbar.l/s

真空箱氦泄漏檢測法：

產(chǎn)品工件充入對應(yīng)的檢測壓力,，外部腔體抽空,，泄漏出來的氦氣被檢漏儀抓取，檢測出泄漏量,。

氦或氫吸槍泄漏檢測法：

使用示蹤氣體的方法：吸槍法

• 總是由內(nèi)外

• 遠(yuǎn)距離高速度的高吸氣氣體流量

• 適用于定位漏率點

• 或已知道漏率大概位置

各種方法檢測精度比較

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