DektakXT臺階儀,表面輪廓儀（探針式表面輪廓儀）是一項創(chuàng)新的設(shè)計,，可以提供更高的重復性和分辨率,，測量重復性可以達到5埃。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的,，更加鞏固了其行業(yè)地位,。不論應用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量，通過在研究工作中的廣泛使用,，DektakXT一定能夠做到功能更強大,，操作更簡易，檢測過程和數(shù)據(jù)采集更完善。第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）的技術(shù)突破,，使納米尺度的表面輪廓測量成為可能，從而可以廣泛的應用于微電子器件,，半導體,，電池，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學領(lǐng)域,。

DektakXT臺階儀,表面輪廓儀設(shè)計

探針系統(tǒng)的評價體系受三個因素影響：能否重復測量,，數(shù)據(jù)采集和分析速度快慢，操作的難易程度,。這些因素直接影響了數(shù)據(jù)的質(zhì)量和操作效率,。DektakXT利用全新結(jié)構(gòu)和和軟件來實現(xiàn)可重復、時間短,、易操作這三個必要因素,，達到儀器使用效果。

強化操作的可重復性 Delivering Repeatable Measurements

DektakXT在設(shè)計上的幾個提高,，使其在測量臺階高度重復性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn),，臺階高度重復性可以到達5?.使用single-arch結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,。同時,，Bruker還對儀器的智能化電子器件進行完善，提高其穩(wěn)定性,，降低溫度變化對它的影響,，并采用*進的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用這些靈敏的電子元器件,會把可能引起誤差的噪音降到很低,，DektakXT的系統(tǒng)因此可以更穩(wěn)定可靠的實現(xiàn)對高度小于10nm的臺階的掃描,。Single-arch結(jié)構(gòu)和智能器件的聯(lián)用，大大降低了掃描臺的噪音,，增強了穩(wěn)定性,，使其成為一個有競爭力的臺階儀（表面輪廓儀）。

提高數(shù)據(jù)采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis

利用*的直接掃描平臺,，DektakXT通過減少從得到原始數(shù)據(jù)到扣除背底噪音所需要的時間,，來提高掃描效率。這一改進,，大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對于表面應力長程掃描的掃描速度,。在保證質(zhì)量和重復性的前提下，可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%,。另外,，DektakXT采用Bruker 64-Bit數(shù)據(jù)采集分析同步操作系統(tǒng)Vision64，它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度，并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描時的數(shù)據(jù)分析處理效率,。Vision64還具有有效直觀的用戶界面,，簡化了實驗操作設(shè)置，可以自動完成多掃描模式,，使很多枯燥繁復的實驗操作變得更快速簡潔,。

完善的操作和分析系統(tǒng) PerfectingOperationand Analysis

與DektakXT的創(chuàng)新性設(shè)計相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上實用簡潔的用戶界面,，具備智能結(jié)構(gòu),，可視化的使用流程，以及各種參數(shù)的自助設(shè)定以滿足用戶的各種使用要求,，快速簡便的實現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析,。

DektakXT 技術(shù)參數(shù)

—臺階高度重復性5?

—Single-arch設(shè)計大大提高了掃描穩(wěn)定性

—前置敏化器件，降低了噪音對測量的干擾

—新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了40%

—64-bit,，這一Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件,，使數(shù)據(jù)分析速度提高了十倍。

功能強大,，操作簡易

—直觀的Vision64用戶界面操作流程簡便易行

—針尖自動校準系統(tǒng)讓用戶更換針尖不再是難事

臺階儀（表面輪廓儀）領(lǐng)域無可撼動的地位

—布魯克的臺階儀,，體積輕巧，功能強大,。

—單傳感器設(shè)計提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍

應用領(lǐng)域：MEMS,、太陽能、芯片,、光刻,、刻蝕、鍍膜,、LED,、微電子、觸摸屏等領(lǐng)域,。

我們的部分客戶名單：清華大學微電子系,、清華大學微電子所、清華大學電子系等121家高校及研究所,，上海神舟新能源有限公司,、上海交大泰陽綠色能源有限公司、福建鈞石能源有限公司等幾百家工業(yè)公司,。