氣路系統(tǒng)

       氣路盤是七星流量計開發(fā)的氣路輸送系統(tǒng)的解決方案,，該產(chǎn)品通過對氣路原理圖的設計,，加工和測試，以隔膜閥,，調(diào)壓閥,，壓力傳感器，過濾器,，MFC等零部件實現(xiàn)對多種工藝氣體的壓力調(diào)節(jié),，純度過濾，流量控制等功能,，目前市場上常用的為傳統(tǒng)VCR型氣路盤和氣體輸送集成控制系統(tǒng)(Integrated Gas System),，即IGS氣路盤，這兩種氣路盤業(yè)務七星流量計都有能力承接,。

　　隨著半導體領域的發(fā)展,，對零部件小型化的提出了更高的要求，傳統(tǒng)的VCR氣路盤難以滿足要求,，IGS型氣路盤應運而生,，它具有氣體直方向運輸，體積小,，便于安裝維護等特點,，是未來氣路輸送系統(tǒng)發(fā)展的方向;經(jīng)過MFC多年研發(fā)經(jīng)驗的沉積,，七星流量計的IGS氣路盤具有高密封性，高精度,，集成度高等優(yōu)點,，并可以依托七星流量計建立的特氣實驗室對特殊氣體進行研究測量，保證IGS氣路盤的特殊氣體控制的高準確性,。

氣路系統(tǒng)優(yōu)勢：

• 提供定制化服務,。

七星流量計具有IC級復雜氣路盤的設計能力，可以按照客戶的需求進行氣路盤的設計更改和定制化服務,。

• 多年的MFC生產(chǎn)經(jīng)驗,，保證氣路盤的品質(zhì)。

七星具有多年研發(fā)和生產(chǎn)MFC的經(jīng)驗,，可嫁接到氣路盤的設計和生產(chǎn)中,，對氣路盤的裝配和測試工藝不斷優(yōu)化，保證氣路盤的品質(zhì),。

• 良好的性價比,。

同等難度的氣路盤,，七星流量計的*同類競品,。