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北京華丞電子有限公司
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數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器

數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 CS100
  • 品牌 七星華創(chuàng)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市

更新時間:2020-06-20 10:57:01瀏覽次數(shù):4353

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
CS100數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺開發(fā),,在擁有恒功率傳感器技術(shù),數(shù)字傳感器平衡技術(shù),,VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上,,采用客戶定制化設(shè)計,客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品,,同時其*創(chuàng)的客戶零點(diǎn)補(bǔ)唯功能(CGC),,能夠解決由于客戶地線連接導(dǎo)致的MFC精度不準(zhǔn)問題,使產(chǎn)品更好的適應(yīng)客戶環(huán)境,。

CS100數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺開發(fā),,在擁有恒功率傳感器技術(shù),數(shù)字傳感器平衡技術(shù),,VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上,,采用客戶定制化設(shè)計,客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品,,同時其*創(chuàng)的客戶零點(diǎn)補(bǔ)唯功能(CGC),,能夠解決由于客戶地線連接導(dǎo)致的MFC精度不準(zhǔn)問題,,使產(chǎn)品更好的適應(yīng)客戶環(huán)境,。

優(yōu)勢

• CS100產(chǎn)品采用客戶定制化設(shè)計,
• 客戶可根據(jù)需要選用±15V雙電源或+24單電源供電;
• 金屬密封或橡膠密封;
• 產(chǎn)品尺寸可選用符合通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品,,也可選用緊縮型產(chǎn)品,。

CS100數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):

CS100

型號

CS100A

CS100D

閥類型

常閉

常閉

流量規(guī)格(N2)

(0~10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0~10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

準(zhǔn)確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S.

響應(yīng)時間

≤ 1sec

工作壓差范圍

0.05~0.35MPa,; 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa ,; 10<流量規(guī)格≤30SLM
0.25~0.45MPa ; 30<流量規(guī)格≤50SLM

<0.02 MPa

 

0.05~0.35MPa,; 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa,;10<流量規(guī)格≤30SLM

<0.02 MPa

溫度系數(shù)

零點(diǎn): ≤±0.05% F.S/℃;   調(diào)節(jié)時: ≤±0.1% F.S/℃

耐壓

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

漏率

1×10-9 Pa·m3 / sec He(1×10-8 atm·cc / sec He)

密封材料

氟橡膠

金屬密封

大工作壓力

0.45MPa

工作環(huán)境溫度

(5~45)℃

輸入信號

模擬:
(0~5)VDC

數(shù)字: RS485

模擬:
(0~5)VDC

數(shù)字: RS485

輸出信號

模擬:
(0~5)VDC

數(shù)字: RS485

模擬:          (0~5)VDC

數(shù)字: RS485

模擬:
(0~5)VDC

數(shù)字: RS485

模擬:
(0~5)VDC

數(shù)字: RS485

電源接頭形式

D型9針
陽接頭,;

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭,;

O型3針
陽接頭

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭;

D型15針
陽接頭

D型9針陽接頭,;

O型3針陽接頭

D型15針陽接頭

D型9針
陽接頭,;

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭;

O型3針
陽接頭

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭,;

D型15針
陽接頭

D型9針陽接頭,;

O型3針陽接頭

D型15針陽接頭

供電電源

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

自動清零

支持

表面粗糙度

25μinch Ra

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

雙卡套 φ6; 雙卡套φ3,;雙卡套1/4´´,;雙卡套1/8´´;

VCR1/4´´陽接頭,;

φ6(內(nèi))x1軟管接頭;φ5(內(nèi))x1.5軟管接頭;φ4(內(nèi))x1軟管接頭

VCR1/4″陽接頭

重量

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 


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