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日本HORIBA經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器返回列表頁

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產(chǎn)品型號SEC E40

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地廣州市

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更新時間：2023-08-28 12:12:19瀏覽次數(shù)：1868次

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產(chǎn)品分類品牌分類

流量: 流量控制器流量計目視流量指示器氣體管道插入式流量計流量開關(guān) 渦輪流量計超聲波流量計浮子流量計質(zhì)量流量計

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別	進口	產(chǎn)品種類	其他
價格區(qū)間	面議	介質(zhì)分類	氣體
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

日本HORIBA經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
特征
?適用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標準）
?被廣泛的使用于的制造業(yè),，從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè),。

詳情介紹

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置,。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,，如需要準確測定時,，必須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候,，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量,。在必須對流量進行精確計測和控制的領(lǐng)域，日本HORIBA經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,，例如半導(dǎo)體工業(yè),、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

特征

· 適用于寬廣范圍的流量控制,，其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標準）

· 被廣泛的使用于的制造業(yè),，從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè)。

日本HORIBA經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器規(guī)格

技術(shù)規(guī)格

型號	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E40/E40MK3	E50/E50MK3
	SEF- (質(zhì)量流量計)	E40	E50
適用氣體種類*1		非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2,、O2,、空氣、H2,、Ar,、He)
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號		非通電時　關(guān)閉
標準流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		2?100% F.S.
流量測量范圍 (適于SEF系列)		0?100% F.S.
響應(yīng)速度		1秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.
直線性		±0.5% F.S.
反復(fù)性		±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)		10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度		5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號		0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量輸出信號		0?5VDC(zui小負荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2		1/4SWL 類型

型號	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E60	E70	E80
	SEF- (質(zhì)量流量計)	E60	E70	E80
適用氣體種類*1		N₂,、O₂,、Air,、H₂,、Ar、C₃H₈,、CH₄,、C₄H₁₀		N₂、O₂,、Air,、H₂
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼
閥門型號		非通電時　關(guān)閉
標準流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		50/100 SLM	200 SLM	300/500 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		5?100% F.S.
流量測量范圍 (適于SEF系列)		0?100% F.S.
響應(yīng)速度		1秒以內(nèi)(T98)		2秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.		±2% F.S.
直線性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
反復(fù)性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
工作差壓值值(適于SEC系列)		100?300kPa(d)	200?350kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		350kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10^-7Pa?m³/s(He)以下		450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)
使用環(huán)境溫度		5?45℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號		0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.
流量輸出信號		0?5VDC(zui小負荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源		＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2		3/8SWL 類型		1/2SWL 類型

*1:關(guān)于記載以外的氣體種類,，請另行咨詢協(xié)商,。
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商,。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能,。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：zui大值300kPa(G)；SEC-70/80：zui大值350kPa(G)以下。
※ SCCM,、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min,、L/min、at,、0℃,、101.3kPa)的記號。