詳細介紹
Automated Precision激光干涉儀
儀器的溯源性:
API公司XD系列激光干涉儀的各項參數(線性,、直線度、角度)都是溯源到國家和標準上的,。這些精度都經過美國國家標準局(NIST),、中國計量科學研究院和德國PTB等機構的檢驗
XD Laser激光干涉儀的組成:
XD Laser 激光干涉儀是在LMS激光干涉儀的基礎上進行了改進。將控制箱集成到激光頭里,,將原先的有線數據傳輸改為全程無線數據傳輸,。因此、XD Laser激光干涉儀是由激光頭,、傳感器,、氣象站、筆記本電腦和連接整個系統(tǒng)的電纜組成,。
主要特點:
同時測量線性定位誤差,、直線度誤差(雙軸)、偏擺角,、俯仰角和滾動角
設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米
可測量速度,、加速度、振動等參數,,并評估機床動態(tài)特性,。
設計緊湊、體積小,,測量機床時不需三角架
集成干涉鏡與激光器于一體,,簡化了調整步驟,減少了調整時間
直線度測量— API XD的方法
應用良好的PSD技術:光電位置敏感檢測器,。它可將光敏面上的光點位置轉化為電信號)
不怕斷光,,可用于導軌的安裝調試(類似于自準直儀)
對直線度進行1:1的測量
可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速
垂直度測量— API XD的方法
API XD激光干涉儀是通過PSD技術1:1進行直線度測量的,,所以API干涉儀測兩軸垂直度時只需一個五角棱鏡既可,無需其他鏡組. 裝/調非常方便快速
在測兩軸的垂直度的同時,,兩軸各自的線性定位誤差,、直線度,偏擺角,、俯仰角都可一次測出,,大大節(jié)省了測量所占用機床的時間,也可避免人為差錯,。
偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法:
良好的PSD技術來測量小角度: 當入射光經分光鏡射到凸透鏡上后,,如果軸無角度變化,則光線經透鏡聚在焦點上,;如果軸有角度變化,,則光線會在焦平面上的PSD光靶上得到兩個方向的坐標值,從而與焦距比較得出角度值,。
測量角度過程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調試
不受滾動角的影響,,調整光路容易
XD Laser被來自世界名地的API用戶用于:
、CMMICNC的校準,、補償
,、機床導軌平行度的測量
、旋轉額的測量
,、垂直度的測量
,、對角線的測量
、CNC反饋
,、機器人位置反饋
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