技術(shù)文章 美國激光干涉儀API測量儀器信息 閱讀：118 發(fā)布時間：2025-5-12 核心優(yōu)勢優(yōu)異精度：標(biāo)準(zhǔn)款激光干涉儀檢測精度達(dá) 0.5ppm（0.5μm/m），能夠滿足眾多高精度制造場景,；XD Laser 系列的精密型更是將精度提升至 0.2ppm（0.2μm/m）,，適用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鏡片研磨等對精度要求高的行業(yè),。高效測量：以 XD Laser 6D 為例,，一次安裝即可同步完成定位誤差、直線度誤差（雙向）,、偏擺角,、俯仰角、滾動角等 6 項參數(shù)測量,，相比傳統(tǒng)設(shè)備效率大幅提升 80%,。例如，1 米行程機床的全面誤差檢測,，傳統(tǒng)方法需要較長時間,，使用 API 設(shè)備僅 3 - 4 小時便可完成。便捷操作：儀器采用緊湊設(shè)計,，全套系統(tǒng)輕巧便攜,。測量時無需三角架，可直接安裝在機床導(dǎo)軌上,，極大簡化安裝流程,；集成化的干涉鏡與激光器設(shè)計，減少復(fù)雜的光路調(diào)整步驟,；部分型號支持 25 米以上無線遙控測量,，方便操作人員在復(fù)雜工況下靈活使用。良好環(huán)境適應(yīng)力：內(nèi)置自動氣壓與溫度補償系統(tǒng),，可實時校正環(huán)境變化對激光波長和測量結(jié)果的影響,；多重數(shù)字濾波器有效抑制空氣波動,、溫度梯度導(dǎo)致的測量誤差，無論是恒溫實驗室還是溫度,、濕度變化較大的工業(yè)現(xiàn)場,，均可穩(wěn)定輸出可靠數(shù)據(jù)。功能豐富：API 激光干涉儀具備多樣化的測量功能,，1D 型號專注定位誤差檢測,；3D 型號可測量定位誤差與雙向直線度誤差；5D/6D 型號更能實現(xiàn)角度參數(shù)的全面測量,。此外,，XD Laser 系列還可對速度、加速度,、振動等動態(tài)參數(shù)進(jìn)行分析,，為機床性能評估提供多維度數(shù)據(jù)支持。
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