機(jī)床校準(zhǔn)設(shè)備


激光器的出現(xiàn),，使古老的干涉技術(shù)得到迅速發(fā)展,，激光具有亮度高、方向性好,、單色性及相干性好等特點(diǎn),，激光干涉測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟。激光干涉測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用非常廣泛：精密長(zhǎng)度,、角度的測(cè)量如線紋尺,、光柵,、量塊、精密絲杠的檢測(cè),；精密儀器中的定位檢測(cè)系統(tǒng)如精密機(jī)械的控制,、校正；大規(guī)模集成電路設(shè)備和檢測(cè)儀器中的定位檢測(cè)系統(tǒng),；微小尺寸的測(cè)量等,。

機(jī)床校準(zhǔn)設(shè)備

激光器的出現(xiàn)，使古老的干涉技術(shù)得到迅速發(fā)展,，激光具有亮度高,、方向性好、單色性及相干性好等特點(diǎn),，激光干涉測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,。激光干涉測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用非常廣泛：精密長(zhǎng)度、角度的測(cè)量如線紋尺,、光柵,、量塊、精密絲杠的檢測(cè),；精密儀器中的定位檢測(cè)系統(tǒng)如精密機(jī)械的控制,、校正；大規(guī)模集成電路設(shè)備和檢測(cè)儀器中的定位檢測(cè)系統(tǒng),；微小尺寸的測(cè)量等,。 
在大多數(shù)激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)中，都采用了邁克爾遜干涉儀或類似的光路結(jié)構(gòu),。
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