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瑞士VAT閥67.0 對(duì)稱控制閥 最大限度地提高質(zhì)量和生產(chǎn)率67.0 系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計(jì),，可用作下游控制和隔離閥。工藝室內(nèi)的氣流特性直接影響工藝速度和質(zhì)量,。盡管傳統(tǒng)上,，工藝設(shè)計(jì)最注重氣體流入，但下游氣流同樣有助于工藝優(yōu)化,。 通常,，晶圓周圍的氣流越均勻，晶圓上的氣體反應(yīng)就越平穩(wěn),、越同步,。 這不僅適用于氣體引入階段，還適用于氣體從艙室排出階段,。出口位置設(shè)計(jì)或閥門操作期間的流動(dòng)路徑變化可能造成氣體分布不對(duì)稱,，阻礙氣體排出或產(chǎn)生不均勻的流速。兩者都可能以不同的氣體暴露時(shí)間和不平衡對(duì)流的形式對(duì)晶圓造成負(fù)面影響,。此外,，兩者都可能導(dǎo)致工藝耗氣量增加、流程時(shí)間延長(zhǎng),。 解決方案是對(duì)整個(gè)流程周期的氣流設(shè)計(jì)進(jìn)行優(yōu)化,。67.0對(duì)稱控制閥為這種方法奠定了新基礎(chǔ)。 采用流量?jī)?yōu)化設(shè)計(jì),，還能以全新方式設(shè)計(jì)工藝室,。借助其特殊的打開和關(guān)閉機(jī)構(gòu)，氣流在整個(gè)開關(guān)周期中對(duì)稱分布,，實(shí)現(xiàn)的流量和壓力控制,?！败浗佑|"隔離功能強(qiáng)化了這一點(diǎn)。67.0 對(duì)稱控制閥移動(dòng)平緩,，可避免任何關(guān)閉沖擊,，從而減少粒子生成量。 67.0 對(duì)稱控制閥的另一優(yōu)勢(shì)是占用空間小,。相較于其他解決方案,，所需的安裝空間更少。 67.0 對(duì)稱控制閥與氣流優(yōu)化的頂噴和艙室設(shè)計(jì)相結(jié)合,，實(shí)現(xiàn)了的全新過程控制水平,。這有助于提高產(chǎn)量質(zhì)量和縮短循環(huán)周期，從而提高生產(chǎn)率,。67.0 對(duì)稱控制閥可提供 DN 為 250-450 mm (10"–18") 的尺寸,。閥體材料為鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁。泵側(cè)的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-F 或 JIS,。艙室法蘭采用專有設(shè)計(jì),。法蘭、閥板和驅(qū)動(dòng)器采用彈性體密封,。饋通件采用波紋管密封,。閥板加熱器為選件。67.0 對(duì)稱控制閥由兩個(gè)帶有閉環(huán)控制步進(jìn)電機(jī)的同步線性驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)?，F(xiàn)代 32 位控制器可借助個(gè)人計(jì)算機(jī)或 PCU 通過各種標(biāo) 準(zhǔn)端口進(jìn)行連接,。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件能夠詳細(xì)監(jiān)測(cè) 67.0 對(duì)稱控制閥并調(diào)整周期性運(yùn)動(dòng)。67.0 對(duì)稱控制閥計(jì)劃在維護(hù)前,，進(jìn)行200 萬(wàn)次控制周期和 20 萬(wàn)次隔離周期,。可快速輕松地完成更換密封件等維護(hù)要求 67.0 對(duì)稱控制閥主要特點(diǎn) 特點(diǎn) 壓力控制和隔離氣流優(yōu)化設(shè)計(jì)閥加熱器選項(xiàng)波紋管饋通件 優(yōu)勢(shì)：在整個(gè)開關(guān)周期對(duì)稱流動(dòng)無(wú)沖擊操作,，避免粒子生成出色的壓力控制性能易于維護(hù)
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