海德漢HEIDENHAIN直線光柵尺圖解
光柵尺,，也稱為光柵尺位移傳感器,，是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,，可用作直線位移或者角位移的檢測,。其測量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大,，檢測精度高,，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如,，在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測,，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用,。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,，分為透射光柵和反射光柵。光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成,。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床固定部件上,，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床活動(dòng)部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中,。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu),。光柵檢測裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源,、會(huì)聚透鏡,、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成,。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭,、分光鏡式讀數(shù)頭,、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）。

封閉式光柵尺能有效防塵,、防切屑和防飛濺的切削液,，是用于機(jī)床的理想選擇。敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機(jī)械接觸,。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括：測量機(jī),、比較儀和其它長度計(jì)量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測量設(shè)備，例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中,。增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點(diǎn)開始數(shù)測量步距或細(xì)分電路的計(jì)數(shù)信號(hào)數(shù)量,。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點(diǎn),，開機(jī)時(shí)必須執(zhí)行參考點(diǎn)回零，操作非常簡單,、快捷,。式光柵尺無需執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作就能直接提供當(dāng)前位置值。光柵尺的位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸,。閉環(huán)中的海德漢直線光柵尺確保工件高精度,。
海德漢公司的封閉式直線光柵尺能有效防 塵、防切屑和防飛濺的切削液,，是用于機(jī) 床的理想選擇,。
精度等級(jí) ± 2 μm
測量步距至 0,001 μm
測量長度至30 m
安裝簡單、快捷
安裝公差大
能承受大加速度載荷
抗污染能力強(qiáng)
海德漢HEIDENHAIN直線光柵尺圖解

我公司在美國,、德國的公司均為威斯特，美國公司自己報(bào)關(guān)
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光柵測量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴,，且制造困難,。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,，目前（2006年）光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法,。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋,，隨著光柵的移動(dòng),，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng),。這樣就把對(duì)光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測量。在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi),，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能,。例如，柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺,，其光柵柵距為0.02mm,，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖，這在工業(yè)普通測控中已達(dá)到了很高精度,。由于位移是一個(gè)矢量,，即要檢測其大小，又要檢測其方向,，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào),。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波,，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器,。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2,，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形,，首先把它們整形為占空比為1：1的方波,。然后，通過對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較,，就可以等到光柵尺的移動(dòng)方向,。通過對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以等到光柵尺的位移和速度,。