您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
我司有各類專業(yè)吸附劑,，吸附劑也稱吸收劑,，氣體吸附分離成功與否，極大程度上依賴于吸附劑的性能,，因此選擇吸附劑是確定吸附操作的首要問題,。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
一想到半導(dǎo)體行業(yè)，大家想到的是機(jī)械生產(chǎn),，材料,，電子電器，與污染兩個(gè)字似乎也沒有什么關(guān)系,。但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機(jī)物和無機(jī)物,，包括許多有毒有害物質(zhì),，對環(huán)境危害較為嚴(yán)重。如不通過尾氣處理設(shè)備對廢氣尾氣加以控制,，將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染,。
半導(dǎo)體尾氣處理器
等離子水洗Local Scrubber設(shè)備,，干式等
該設(shè)備主要去除半導(dǎo)體Dry Etch、ThinFilm,、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產(chǎn)生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,，如：CF4、NF3,、SF6,、C2F6、CHF3,、CH2F2等,。
噴淋塔
對于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ，半導(dǎo)體廠封閉車間大都采用大型臥式洗滌塔進(jìn)行廢氣處理,。