安賽斯12寸可編程勻膠機

ANALYSIS Programmable Spin Coater

安賽斯^TM可編程勻膠機(旋涂儀)

Model: HC300SE

安賽斯12寸可編程勻膠機

BENEFITS

優(yōu)勢

• Compact design for minimized footprint

設計緊湊,，占地面積最小化

• Full-color, 7-inch touch screen display

全彩色7英寸觸摸屏顯示屏

• High-density polyethylene (HDPE) spin bowl for maximum chemical compatibility

高密度聚乙烯(HDPE)旋轉碗化學相容性

• Durable benchtop design that is also available in a flange/ deck mountable configuration

耐用的臺式設計,，也可采用法蘭/甲板安裝配置

• Advanced PLC fully automatic program control

高級PLC自動程序控制

• Motor glue protection; Easy to clear pipeline design

電機進膠保護，管路易疏通設計

BOWL DESIGN

碗形設計

• High-density polyethylene (HDPE) spin bowl

高密度聚乙烯（HDPE）旋轉碗

• Optional aluminum foil disposable liners available

可選鋁箔一次性內襯

• Polycarbonate transparent lid design beautiful and corrosion-resistant

透明的聚碳酸酯蓋子,，美觀耐腐蝕

• Can be placed in Fume hood for use in atmospheric environments

可放在通風櫥內,，用于氣氛環(huán)境使用

• Spin bowl size 413mm, convenient for operation

旋涂碗尺寸413mm，方便操作

PROGRAMMABILITY

可編程性

• Touch screen interface and display

觸摸屏界面和顯示器

• Full-color alphanumeric-capable graphical user interface (GUI)

具有全彩色字母數(shù)字功能的圖形用戶界面（GUI）

• 100 of user-defined recipe programs,，with100 steps for each program

100組用戶定義配方程序,，每個程序100步。

• 0.1-second resolution for step times (3000 seconds maximum step time)

步長為0.1秒的分辨率（3000秒最大步進）

• Spin speed: 6,000 rpm

轉速：6000 rpm

• Spin speed acceleration:

旋轉速度加速度：

0 to 30,000 rpm/s unloaded

0至30000轉/秒無負載

• Optional Simultaneous, automated, mulit-dispense capability

可選同時,、自動化,、多路點膠分配功能

PRECISION

精密度

• Spin speed repeatability: 0.1 rpm

轉速可重復性：0.1 rpm

• Spin speed resolution: 0.1 rpm

轉速分辨率：0.1 rpm

• Substrate sizes: 0.5cm to 300 mm round; Or equally sized square samples

基板尺寸：0.5 cm至300 mm圓形或同等尺寸（對角線）方形樣品

RELIABILITY

可靠性

• Indirect drive system protects the spin motor from contact with process chemicals and solvents

異位電機設置保護旋轉電機不受接觸使用工藝化學品和溶劑

• Vacuum and lid interlock

真空和蓋子安全檢測互鎖

• Industry-leading reliability and uptime

可靠性和正常運行時間

• 1-year full warranty on parts and labor

零件和勞動力的1年全面保修

• Free remote technical support (phone, fax) for the life of the product

遠程技術支持（電話、電子郵件,、傳真）

• Application process assistance for life of the product

產(chǎn)品使用壽命的應用程序幫助

UTILITIES

產(chǎn)品外設

• Voltage ranges: 100-125, 208-240 VAC, 50/60 Hz

電壓范圍：100-125,、208-240 VAC、50/60 Hz

• Power requirements :1200 watts

功率要求：1200瓦

• Exhaust port: 6mm OD

真空接口：6mm

• Vacuum: -92kPa,，90L/min

真空：-92kPa,，90L/min

DIMENSIONS

尺寸

• 24.1" (51.5cm) W × 18.2" (51.5cm) D × 12" (35cm) H

• Machine weight:55.1lb (25kg)

• Shipping weight: 44.1lb (66kg)）

安賽斯12寸可編程勻膠機

ATTACHMENT

附件

• One HCV500 oil-free vacuum pump with a pumping speed of 90L/min;

HCV500無油真空泵1臺,，抽氣速度90L/min,；

• Standard with one 8-inch Spin Chuck, suitable for 8-12 inch wafer spin coating, and other sizes of Spin Chuck can be customized;

標配8英寸載物盤1只，適合8-12英寸晶元旋涂,，其他尺寸規(guī)格載物盤可定制,；