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當(dāng)前位置:安賽斯(北京)科技有限公司>>半導(dǎo)體前處理>>安賽斯勻膠機/旋涂儀>> HC160精密旋涂儀
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號HC160
品 牌安賽斯
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
更新時間:2024-03-05 14:43:19瀏覽次數(shù):1862次
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產(chǎn)品介紹:
名 稱:精密旋涂儀HC160
型 號:HC160
應(yīng) 用:精密旋涂儀采用高級PLC 全自動程序控制,,轉(zhuǎn)速精度高,,穩(wěn)定性好??捎糜谖㈦娮?、半導(dǎo)體、新能源,、生物材料,、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
產(chǎn)品概述:
HC160精密旋涂機被設(shè)計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm或?qū)?yīng)的,,使用工業(yè)級直流馬達和PLC控制,,4.3英寸全彩觸屏人機界面操作,簡單易用,。勻膠機在材料,、化學(xué)或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域,。
靈巧型勻膠機設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊,、簡單易用,程控操作,且能夠升級自動點膠功能,,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出,,具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計,,進行嵌入式安裝,,與手套箱進行配合。
性能參數(shù):
適用晶元尺寸范圍:?5~160mm,;
旋涂速度:100~12000rpm,;轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;
旋涂加速度:100-30000rpm/s,;
最大旋涂時間:3000s,;旋涂時間精度:0.1s;
內(nèi)腔直徑220mm,,內(nèi)腔壁采用凹面防濺設(shè)計,;
具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,,每組程序10步,;
電源輸入:AC200-230V;
產(chǎn)品特點:
設(shè)計緊湊,,可放置在手套箱內(nèi),;
5英寸彩色觸屏控制,人機界面,;
一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,,耐腐蝕,,易清潔,;內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計,,有效防濺;
高級PLC全自動程序控制,,可編程,;
帶真空度安全互鎖檢測功能;帶蓋子安全互鎖檢測功能,;
具有電機進膠保護功能,;管路易疏通設(shè)計;具有真空不足提示及保護功能,,具有斷電后參數(shù)自動保存功能,。
帶一路自動點膠接口,可升級自動點膠系統(tǒng),;
可設(shè)置用戶密碼保護功能,;
配置可調(diào)基座,,方便調(diào)節(jié)水平;
產(chǎn)品外型尺寸:
358mm(D)*252mm(W)*255mm(H)
HDPE高分子材料耐腐蝕內(nèi)腔
HDPE高分子內(nèi)腔及載物盤
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