產(chǎn)品特色

?  采用高級(jí)PLC模塊，工業(yè)級(jí)伺服電機(jī),；8英寸彩色觸屏控制,，人機(jī)界面；

?  不銹鋼外殼,，美觀耐腐蝕；

?  HDPE高分子內(nèi)腔,，耐腐蝕,，易清潔，帶排廢功能,；內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì),，有效防濺；

?  可編程寫和存儲(chǔ)100組程序,，每組100步,；

?  帶真空度安全互鎖檢測(cè)功能；帶蓋子安全互鎖檢測(cè)功能,；帶排廢接口,；

?  具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能；管路易疏通設(shè)計(jì),；具有真空不足提示及保護(hù)功能,，具有斷電后參數(shù)自動(dòng)保存功能。

?  正,、反轉(zhuǎn)旋涂方向可自由切換,；旋涂參數(shù)可設(shè)置循環(huán)執(zhí)行；速度-時(shí)間曲線實(shí)時(shí)顯示,；

?  配置四個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠接口,，可升級(jí)多路自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)；

?  可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能,；配置可調(diào)基座,，方便調(diào)節(jié)水平；

性能參數(shù)

?  適用晶元尺寸范圍：?5~220mm,；

?  旋涂速度：0~10000rpm,；轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm,；旋涂加速度：0-50000rpm/s（空載）；

?  最大旋涂時(shí)間：3000s,；旋涂時(shí)間精度：0.1s,；

?  內(nèi)腔壁采用凹面防濺設(shè)計(jì)；

?  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,，可編程100組程序,，每組程序100步；

?  均勻性：<±3%(需去邊3mm區(qū)域測(cè)量),；

電源輸入：AC200-230V,；