產品特色

?  采用高級PLC模塊,，工業(yè)級伺服電機,；8英寸彩色觸屏控制,，人機界面,；

?  HDPE高分子內腔,，耐腐蝕，易清潔,，帶排廢功能,；內腔壁采用凹面設計，有效防濺,；

?  可編程寫和存儲100組程序,，每組100步；

?  帶真空度安全互鎖檢測功能,；帶蓋子安全互鎖檢測功能,；帶排廢接口；

?  具有電機進膠保護功能,；管路易疏通設計；具有真空不足提示及保護功能,，具有斷電后參數自動保存功能,。

?  正、反轉旋涂方向可自由切換,；旋涂參數可設置循環(huán)執(zhí)行；速度-時間曲線實時顯示,；

?  可設置用戶密碼保護功能,；配置可調基座,，方便調節(jié)水平；

 性能參數

?  適用晶元尺寸范圍：?5~220mm,；

?  旋涂速度：0~10000rpm；轉速分辨率：1rpm,；旋涂加速度：0-50000rpm/s（空載）；

?  最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s,；

?  內腔壁采用凹面防濺設計,；

?  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序,，每組程序100步,；

?  均勻性：<±3%(需去邊3mm區(qū)域測量)；

?  電源輸入：AC200-230V,；