可編程精密勻膠機

型號：HC160PE

    HC160PE程控精密勻膠機,，采用高級PLC 全自動程序控制，轉速精度高,，穩(wěn)定性好,。可用于微電子,、半導體,、新能源、生物材料,、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備,。

特點：

l  設計緊湊，可放置在手套箱內(nèi),；

l  4.3英寸彩色觸屏控制,，人機界面；

l  不銹鋼外殼,，美觀耐腐蝕,；

l  經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，耐腐蝕,，易清潔,，帶排廢功能；

l  內(nèi)腔壁采用*的凹面設計,，有效防濺,；

l  高級PLC全自動程序控制，可編程,；

l  帶真空度安全互鎖檢測功能,；

l  帶蓋子安全互鎖檢測功能；

l  帶排廢接口,；

l  配置一個自動點膠接口,，可升級自動點膠系統(tǒng)；

l  可設置用戶密碼保護功能,；

l  配置可調(diào)基座,，方便調(diào)節(jié)水平,；

技術參數(shù)：

l  適用晶元尺寸范圍：?10~160mm；

l  旋涂速度：100~12000rpm,；

l  轉速分辨率：1rpm,；

l  旋涂加速度：100-30000rpm/s；

l  旋涂時間：3000s,；

l  旋涂時間精度：0.1s,；

l  內(nèi)腔直徑220mm，內(nèi)腔壁采用*的凹面防濺設計,；

l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,，可編程100組程序，每組程序10步,；

l  電源輸入：AC200-230V；

設備外形尺寸：長X寬X高：310X254X250mm

HC160PE程控精密勻膠機

HC160PE程控精密勻膠機