當前位置:安賽斯(北京)科技有限公司>>半導體前處理>>安賽斯勻膠機/旋涂儀>> HC150PE小型程控勻膠機
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,生物產業(yè),石油,地礦,道路/軌道/船舶 |
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編程 | 100組,每組10步 | 控制方式 | 觸摸屏,,人機界面 |
速度 | 12000rpm | 適合樣品 | 6英寸及以下 |
可編程精密勻膠機
型號:HC150PE
HC150PE勻膠機,,采用高級PLC 全自動程序控制,,轉速精度高,穩(wěn)定性好,??捎糜谖㈦娮印雽w,、新能源,、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備,。
特點:
l 設計緊湊,,可放置在手套箱內。
l HDPE內腔與不銹鋼機身可分離,,便于清潔和移動,。
l 4.3英寸彩色觸屏控制,簡單易用,,運行狀態(tài)實時顯示,。
l 不銹鋼外殼,美觀耐腐蝕,。
l 經CNC一體加工成型的HDPE內腔,,耐腐蝕,易清潔,;
l 內腔壁采用*的凹面設計,,有效防濺;
l 高級PLC全自動程序控制,,可編程,;
l 帶真空度安全互鎖檢測功能;
l 可設置用戶密碼保護功能,;
l 配置可調基座,方便調節(jié)水平,;
l 帶一路自動點膠接口,,可升級自動點膠系統(tǒng);
技術參數:
l 適用晶元尺寸范圍:?10~150mm,;
l 旋涂速度:100~12000rpm,;
l 轉速分辨率:1rpm;
l 旋涂加速度:100-30000rpm/s,;
l 最大旋涂時間:3000s,;
l 旋涂時間精度:0.1s,;
l 內腔直徑212mm,內腔采用*的凹面防濺設計,;
l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,,可編程100組程序,每組程序10步,;
l 電源輸入:AC200-230V
設備外形尺寸:長X寬X高:310X254X250mm
小型程控勻膠機
小型程控勻膠機
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