可編程程控勻膠機(jī)

可編程程控勻膠機(jī)

可編程精密勻膠機(jī)

型號(hào)：HC150SE

HC150SE勻膠機(jī)，采用高級(jí)PLC 全自動(dòng)程序控制,，轉(zhuǎn)速精度高,，穩(wěn)定性好,。可用于微電子、半導(dǎo)體,、新能源、生物材料,、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備,。

特點(diǎn)：

l  設(shè)計(jì)緊湊,，可放置在手套箱內(nèi)。

l  HDPE內(nèi)腔與不銹鋼機(jī)身可分離,，便于清潔和移動(dòng),。

l  4.3英寸彩色觸屏控制，簡(jiǎn)單易用,，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示。

l  不銹鋼外殼,，美觀耐腐蝕,。

l  經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,，耐腐蝕，易清潔,；

l  內(nèi)腔壁采用*的凹面設(shè)計(jì),，有效防濺；

l  高級(jí)PLC全自動(dòng)程序控制,，可編程；

l  帶真空度安全互鎖檢測(cè)功能,；

l  可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；

l  配置可調(diào)基座,，方便調(diào)節(jié)水平,；

技術(shù)參數(shù)：

l  適用晶元尺寸范圍：?10~150mm,；

l  旋涂速度：100~12000rpm；

l  轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm,；

l  旋涂加速度：100-30000rpm/s,；

l  最大旋涂時(shí)間：3000s；

l  旋涂時(shí)間精度：0.1s,；

l  內(nèi)腔直徑212mm，內(nèi)腔采用*的凹面防濺設(shè)計(jì),；

l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,，可編程10組程序，每組程序10步,；

l  電源輸入：AC200-230V

設(shè)備外形尺寸：長(zhǎng)X寬X高：310X254X250mm