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更新時(shí)間:2024-08-05 08:57:56
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SCTS-2000系型雙電測(cè)式四探針測(cè)試儀
SCTS-2000系型雙電測(cè)式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線(xiàn)或方形四探針雙位測(cè)-改進(jìn)形范德堡測(cè)量方法測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),。利用電流探針,、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,,它與單電測(cè)直線(xiàn)或方形四探針相比,,大大提高正確度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試,。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠(chǎng)器件廠(chǎng),、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體,、半導(dǎo)體,、類(lèi)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試,,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
一,、主要特點(diǎn):
1,、根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配,。有高耐磨碳化鎢探針探頭,,以測(cè)試硅類(lèi)半導(dǎo)體、金屬,、導(dǎo)電塑料類(lèi)等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻,;
2、也有球形鍍金銅合金探針探頭,,可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜,、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻,。
3,、換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻,、金屬導(dǎo)體的低,、中值電阻以及開(kāi)關(guān)類(lèi)接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
4、由主機(jī),、選配的四探針探頭,、測(cè)試臺(tái)以及PC軟件等部分組成。
二,、基本技術(shù)參數(shù)
3.1 測(cè)量范圍
電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm
方 阻:5×10-4~2×105 Ω/□,,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□
電 阻:1×10-5~2×105 Ω ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω
3.2 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)決定和測(cè)試方式?jīng)Q定)
直 徑:圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,,手持方式不限
SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm,,手持方式不限.
長(zhǎng)(高)度:測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測(cè)量方位: 軸向、徑向均可
3.3. 4-1/2 位數(shù)字電壓表:
(1)量程: 20.00mV~2000mV
(2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
3.4 數(shù)控恒流源
(1)量程:0.1μA,,1μA,,10μA,100μA,,1mA,,10mA,100mA,,1A
(2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
3.5 四探針探頭(選配其一或加配全部)
(1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,,直線(xiàn)探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)
(2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,,直線(xiàn)或方形探針間距2.0mm,,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)
3.6 電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W
3.7 外形尺寸:
主機(jī) 220mm(長(zhǎng))×245 mm(寬)×100mm(高)
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)