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FE-5000型鐵電薄膜測試儀

   FE-5000W型電致應(yīng)變鐵電測試儀是一款高量程款的鐵電性能材料測試裝置,，這款設(shè)備可以適用于鐵電薄膜,、鐵電體材料（既可塊體材料）的電性能測量，可測量鐵電薄膜電滯回線,、可測出具有非對稱電滯回線鐵電薄膜值,。可以進(jìn)行電致應(yīng)變測試，可以蝴蝶曲線功能,，設(shè)備還可以擴(kuò)展高溫電阻,，高溫介電，電容-電壓曲線，TSC/TSDC等功能,。本儀器是從事壓電材料及壓電元件生產(chǎn),、應(yīng)用與研究部門的重要設(shè)備之一，已經(jīng)在各大高校和科研院所廣泛使用,。

二,、主要技術(shù)指標(biāo)：

1、輸出信號電壓：：±5000V（可擴(kuò)展至10 kV）,可擴(kuò)展電致應(yīng)蝴蝶曲線功能

2,、溫度,；室溫-200℃，控溫精度：±1℃

3,、控制施加頻率0.01到250KHz（陶瓷,、單晶，薄膜）PC端軟件控制自定義設(shè)置,；

4,、控制輸出電流0到±50mA連續(xù)可調(diào)，PC端軟件控制自定義設(shè)置,。

5,、動態(tài)電滯回線測試頻率范圍 0.01Hz-5kHz

7、最小脈寬保持時間為20us;最小上升沿時間為10us;

8,、疲勞測試頻率500kHz（振幅10 Vpp,，負(fù)載電容1 nF）；使用高壓放大器后疲勞頻率最高5kHz;

9,、測試速度：測量時間《5秒/樣品•溫度點(diǎn)   

10,、樣品規(guī)格：塊體材料尺寸：直徑2-100mm，厚度0.1-10mm

11,、主要功能： 動態(tài)電滯回線DHM,，靜態(tài)電滯回線SHM，I-V特性,，脈沖PUND,，疲勞Fatigue，電擊穿強(qiáng)度BDM,，漏電流LM,，電流-偏壓，保持力RM,，

10. 電荷解析度不小于10 mC;

漏電流測量范圍:1pA~ 20 mA,，分辨率不低于0.1pA;

12、控制方式：計算機(jī)實(shí)時控制,、實(shí)時顯示,、實(shí)時數(shù)據(jù)計算,、分析與存儲

13、軟件采集：自動采集軟件,，分析可以兼容其他相關(guān)主流軟件,。

14、測試精度：±0.05%

15,、內(nèi)置電壓：±20V

鐵電參數(shù)測試主要性能指標(biāo)：

a. 外接5 kV高壓放大器,；

b. 動態(tài)電滯回線測試頻率范圍0.01 Hz ～ 1 kHz；

c. 最大電荷解析度：10 mC,；

d. 疲勞測試頻率300 kHz（振幅10 Vpp,，負(fù)載電容1 nF）；

e. 漏電流測量范圍 1 pA ～ 20 mA,，分辨率0.1 pA,；

f. 配有高壓擊穿保護(hù)模塊。

本測試系統(tǒng)由主控器,、高壓放大器,、變溫綜合測試平臺（配鐵電測試盒）或高低溫探針臺（配高壓探針）、計算機(jī)及系統(tǒng)軟件部分組成,。主控器集成了可編程波形發(fā)生器,、內(nèi)置驅(qū)動電壓、電荷積分器,、可編程放大器,、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、通訊總線等功能,，主控器提供擴(kuò)展外置高壓放大器接口，可擴(kuò)展±5 kV或±10 kV的高壓放大器,。系統(tǒng)軟件包括可視化數(shù)據(jù)采集和管理功能,，測試時，無需改變測試樣品的連接,，即可實(shí)現(xiàn)滯回,，脈沖，漏電,，IV等性能測試,。

本鐵電參數(shù)測試儀/PUND測試采用改進(jìn)的Sawyer- Tower測量方法，與傳統(tǒng)的Sawyer- Tower模式相比,，此電路取消了外接電容,，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度,，減少了對測試的影響環(huán)節(jié),，容易定標(biāo)和校準(zhǔn)，并且能實(shí)現(xiàn)較高的測量準(zhǔn)確度。

該系統(tǒng)測試功能：

動態(tài)電滯回線DHM

I-V特性

脈沖PUND

疲勞Fatigue

漏電流LM

電流-偏壓,。