SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀
SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測-改進(jìn)形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器,。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),。利用電流探針、電壓探針的變換,，進(jìn)行兩次電測量,，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,，它與單電測直線或方形四探針相比,，大大提高正確度,，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠,、科研單位,、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體,、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試,，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
一,、主要特點(diǎn)：
1,、根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配,。有高耐磨碳化鎢探針探頭,，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬,、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻,；
2、也有球形鍍金銅合金探針探頭,，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜,、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻,。
3,、換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻,、金屬導(dǎo)體的低,、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。
4,、由主機(jī),、選配的四探針探頭,、測試臺以及PC軟件等部分組成。
二,、基本技術(shù)參數(shù)
3.1 測量范圍
電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm,，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm
方 阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□
電 阻：1×10-5～2×105 Ω ,，分辨率：1×10-6～1×102 Ω
3.2 材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)
直 徑：圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm,，手持方式不限
SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.
長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向,、徑向均可
3.3. 4-1/2 位數(shù)字電壓表：
(1)量程： 20.00mV～2000mV
(2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字
3.4 數(shù)控恒流源
(1)量程：0.1μA,，1μA，10μA,，100μA,，1mA，10mA,，100mA,，1A
(2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字
3.5 四探針探頭（選配其一或加配全部）
(1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm,，探針壓力: 0～2kg 可調(diào)
(2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm,，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào)
3.6 電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W
3.7 外形尺寸：
主機(jī) 220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高）
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