HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
關(guān)鍵詞：二維材料，干法,，濕法,，范德華
適用于石墨烯，硫化鉬,，黑磷等單層材料精確定點轉(zhuǎn)移,，以及多層范德華異質(zhì)結(jié)的制備。
由于在制備多層異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的二維半導(dǎo)體材料晶體管的過程中,，需要將一層二維材料轉(zhuǎn)移到另一層二維材料上,。在常規(guī)的大氣環(huán)境中進行轉(zhuǎn)移操作時，難免會遇到轉(zhuǎn)移后兩層材料中含有少量氣泡的問題,；并且,，某些二維材料會受到空氣中水和氧的影響，使得材料本身的性能下降,。兩者使得器件性能大大下降,。
1. 顯微轉(zhuǎn)移操作平臺：
a. 四軸可調(diào)襯底載物平臺： XY方向行程 20mm，轉(zhuǎn)移對位操作精度2μm,；繞z 軸手動調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)最大±90°,，測微器精細調(diào)節(jié)，行程5°,，調(diào)節(jié)精度0.5°左右,； 繞x軸和y 軸傾斜臺，調(diào)節(jié)方式手動轉(zhuǎn)輪,，臺面厚度20mm,，傾斜角度±2°。
b. 襯底載物平臺加熱系統(tǒng)：樣品臺加熱最高溫度為240 ℃,，使用 PID 溫度控制器,，溫度控制穩(wěn)定性小于±1℃（穩(wěn)定性≦±0.1℃），帶加熱開關(guān),。
c. 四軸可調(diào)載玻片移動平臺：載玻片 XYZ三軸可調(diào),，80mm高穩(wěn)定性臺面，行程25mm,，測微絲桿控制,；Z軸為29mm直徑百刻線微分頭,，便于精細升降操作；樣品送入手動旋轉(zhuǎn)臺,，臺面直徑100mm,，粗調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍360°，細調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍±5°,，定位精度1~ 2°,；
d. 支持真空自動吸附樣品，確保轉(zhuǎn)移過程中目標樣品位置精確固定,；真空泵電磁閥控制,，按鈕控制是否吸附樣品；真空泵：25L-35L/min 流量,；
e．雙邊載玻片夾具：輔助夾具片2片,，夾具片75*25*1.5mm；
f．集成控制機箱：集成機柜包括電源,、顯微鏡LED控制,、溫度控制、真空開關(guān)控制,，工作電壓220V,，最大輸出功率800W；
2. 顯微成像光路系統(tǒng)：
a. 單筒顯微鏡：變倍比1:6.5,，變倍范圍0.7X-4.5X,，標準工作距離90mm，分辨率63-180lp/mm,，95mm超長工作距離20倍物鏡,，綜合最大放大倍率850~900倍；雙固定位設(shè)計,，高倍放大下圖像無明顯抖動。
b. 白色LED照明：同軸照明系統(tǒng),，選用高亮度單顆1W LED,，色溫5500K，照明均勻,；LED照明控制器90V-250V寬電壓,1W LED控制器,，可調(diào)光；
c. 顯微相機：1920x1080高靈敏度CMOS傳感器,，30fps速度保存,；支持HDMI相機直接輸出到顯示器；曝光時間0.4ms~999ms,，自動白平衡,；支持WIFI數(shù)據(jù)傳輸,；提供顯微相機操作軟件，支持電腦控制,，可軟件測量顯微樣品尺寸及角度,；工作溫度-10~ 50攝氏度。
d. 顯微觀察支架：一體式高穩(wěn)定性支架,，長寬高240mm*100mm* 100mm,，重量20kg，支持沿 xy方向 50mm行程,，可大范圍調(diào)節(jié)顯微鏡觀察位置,；
e. 顯示器：24英寸1920*1200全高清專業(yè)顯示器。
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