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 HTRS-1000型高溫半導(dǎo)體材料電阻率測試儀

       HTRS-1000型高溫半導(dǎo)體材料電阻率測試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評估和測試,，該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進(jìn)行設(shè)計開發(fā),，可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度,、時間變化的曲線,。目前主要針對圓片、方塊,、長條等測試樣品進(jìn)行測試,，可以廣泛用于半導(dǎo)體材料硅（si）、鍺（ge）,化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs),、銻化銦（InSb）,，三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl、GaAsP,，固溶體半導(dǎo)體,，如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量,。

一,、產(chǎn)品特點 

1、設(shè)備集成度高,，一體化設(shè)計,，精密測量。

2,、1000度的高溫爐膛,，耐高溫、抗氧化的測試夾具,，測量無誤

3,、鉑銥合金材料測試探頭，抗氧化,，經(jīng)久耐用,。

4、控溫精度達(dá)到±0.5℃,，溫度,、時間曲線直觀

5、常溫,、高溫,、真空、流動氣氛等多種試驗環(huán)境

6,、各種樣品均可測試：單樣品塊體測量夾具,，針對圓片、方塊,、長條等樣品

7,、自動保壓，防止擊穿

二,、主要技術(shù)參數(shù)：
溫度范圍：RT-1000℃
升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)
控溫精度：±0.1℃
電阻測量范圍：0.1mΩ~1MΩ
電阻率測量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm
測量環(huán)境：惰性氣氛,、還原氣氛,、真空氣氛
測量方法：四線電阻法，探針法
測試通道：單通道或是雙通道
樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm
電極材料：鉑銥合金電極（耐高溫,，抗氧化）
絕緣材料：99氧化鋁陶瓷
數(shù)據(jù)存儲格式：自動分析數(shù)據(jù),，可以分類保存，樣品和測量方案結(jié)合在一起,，生成系統(tǒng)所需的實驗方案,，輸出TXT、XLS,、BMP等格式文件

數(shù)據(jù)傳輸：USB
符合標(biāo)準(zhǔn)：ASTM
供電：220V±10%,，50Hz
工作溫度：5℃ 至 + 40 ℃；

工作濕度：+40 ℃ 時,，相對濕度高達(dá) 95%（無冷凝）
設(shè)備尺寸： L360mm*W370mm*H510mm
重量：22kg

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