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當(dāng)前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>薄膜制備>>薄膜沉積CVD
SI 500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設(shè)備,利用ICP高密度等離子源來(lái)沉積電介質(zhì)薄膜,。可在極低溫度下( 100ºC)沉積高質(zhì)量SiO2, S...
PICOSUN 原子層沉積系統(tǒng)ALD R-200 Pro,;PICOSUN R-200 Advanced ALD系統(tǒng)適用于數(shù)十種應(yīng)用的研發(fā),例如IC組件,,MEMS...
PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-200高級(jí)版,;系統(tǒng)適用于數(shù)十種應(yīng)用的研發(fā),例如IC組件,,MEMS器件,,顯示器,,LED,激光和3D對(duì)象,,例如透鏡,,光學(xué)器件...
PICOSUN®R-200標(biāo)準(zhǔn)ALD系統(tǒng)適用于數(shù)十種應(yīng)用的研發(fā),,例如IC組件,,MEMS器件,,顯示器,,LED,,激光和3D對(duì)象,,例如透鏡,,光學(xué)器件,,珠寶,...
離子注入機(jī)由離子源,、質(zhì)量分析器,、加速器、四級(jí)透鏡,、掃描系統(tǒng)和靶室組成,,可以根據(jù)實(shí)際需要省去次要部位。離子源是離子注入機(jī)的主要部位,,作用是把需要注入的元素氣態(tài)粒子...
SI 500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設(shè)備,,利用ICP高密度等離子源來(lái)沉積電介質(zhì)薄膜??稍跇O低溫度下( 100ºC)沉積高質(zhì)量SiO2, S...
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