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光柵尺位移傳感器原理結(jié)構(gòu)及維護(hù)方法

閱讀:8143        發(fā)布時(shí)間:2017-10-17

光柵尺位移傳感器原理結(jié)構(gòu)及維護(hù)方法

一,、光柵尺是什么,?

  定義: 光柵尺位移傳感器(簡稱光柵尺),,是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置,。

  光柵尺位移傳感器經(jīng)常應(yīng)用于機(jī)床與現(xiàn)在加工中心以及測量儀器等方面,,可用作直線位移或者角位移的檢測,。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,,具有檢測范圍大,檢測精度高,,響應(yīng)速度快的特點(diǎn),。

  二、光柵尺的分類,、構(gòu)造

  1)分類:

  光柵尺位移傳感器按照制造方法和光學(xué)原理的不同,,分為透射光柵和反射光柵。

  透射光柵指的玻璃光柵.

  反射光柵指的鋼帶光柵

  2)結(jié)構(gòu):

  光柵尺位移傳感器是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成,。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床活動(dòng)部件上,,光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床固定部件上,指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中,。

  下圖所示的就是光柵尺位移傳感器的結(jié)構(gòu),。

  三、光柵尺的工作原理及應(yīng)用

  常見光柵的工作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的,。 (關(guān)于莫爾條紋的原理,,可參考相關(guān)文獻(xiàn)) 簡單的說:光讀頭通過檢測莫爾條紋個(gè)數(shù),來“讀取”光柵刻度,,然后再根據(jù)驅(qū)動(dòng)電路的作用,,計(jì)算出光柵尺的位移和速度。相比例如軟件測量的方式,,光柵尺讀數(shù)測量具有更高的精度,。

  我司zui近推出的一款DMH0745Scan測量顯微鏡就是利用光柵尺的工作原理來實(shí)現(xiàn)大尺寸器件在顯微鏡下的精密測量的。

  四,、光柵尺的維護(hù)

  1)盡可能外加保護(hù)罩,,并及時(shí)清理濺落在尺上的切屑和油液,嚴(yán)格防止任何異物進(jìn)入光柵尺傳感器殼體內(nèi)部,。

  2)定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動(dòng),、定期使用干燥的潔凈布擦拭表,。

  3)光柵尺位移傳感器嚴(yán)禁劇烈震動(dòng)及摔打、踩踏,,以免破壞光柵尺,,如光柵尺斷裂,光 柵尺傳感器即失效了,。

  4) 不要自行拆開光柵尺位移傳感器,,更不能任意改動(dòng)主柵尺與副柵尺的相對間距,否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度,;另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦,損壞鉻層也就損壞了柵線,,以而造成光柵尺報(bào)廢,。

  5) 應(yīng)注意防止油污及水污染、硬物劃傷光柵尺面,,以免破壞光柵尺線條紋分布,,引起測量誤差。

  6) 光柵尺位移傳感器應(yīng)盡量避免在有嚴(yán)重腐蝕作用的環(huán)境中工作,,以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面,,破壞光柵尺質(zhì)量。

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