20年前,，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀，初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測,，如毒性氣體AsH3,、B2H6、PH3等,，強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI,、HF、CIF3等,，強(qiáng)氧化性氣體如CIF3,、NF3等。

20年來,，Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力,，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案,。

HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,，HF，HCl,，HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物,。

主要特點(diǎn)：

1、連接件電拋光工藝處理

2,、取樣壓力：1mTorr to 1000Torr

3,、高靈敏度三級過濾四極桿

4、檢測限可達(dá) 5 ppb

5,、QGA專業(yè)版定量分析軟件