HPR-30過程氣體分析儀應(yīng)用：

· CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
· 真空涂覆/ 等離子蝕刻
· 濺射沉積
· 污染物研究
· 基本壓力辨別
· 泄漏探測/ 實質(zhì)上的泄漏/脫附分析
· 除氣/烘烤/泵效能
· 反應(yīng)室/過程氣體污染物

HPR-30過程氣體分析儀特點(diǎn)：

· 簡潔的桌上型,，移動推車或控制臺架結(jié)構(gòu)
· Direct re-entrant流孔板,，差式泵，以達(dá)到z適宜的靈敏度
· 連續(xù)取樣從1mbar至 10-4mbar.
· 高靈敏度（至5ppb）,，質(zhì)量數(shù)至1000amu
· 軟離子化技術(shù),，分析復(fù)雜有機(jī)物，或表觀MS研究
· 穩(wěn)定性好(24h之上,，峰高變化小于±0.5%)
· MASsoft軟件控制,，或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個系統(tǒng)控制
· 氣動閥自動控制；出現(xiàn)電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置
· 自動,、同時數(shù)據(jù)取得,、分析，實時顯示,、報警,。