Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀應(yīng)用：

· 刻蝕 / 沉積作用研究
· 離子植入 / 激光燒蝕
· 殘余氣體分析 / 泄漏檢測
· 等離子體電極耦合，即在操作中遵從電極設(shè)定條件
· 通過視口,、接地電極和驅(qū)動電極進行分析

Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀特點：

1、軟件控制的離子汲取光學(xué)系統(tǒng),，以使等離子體擾動z小
2,、45°靜電扇區(qū)分析器，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
3、所有能量范圍內(nèi),，離子行程的z小擾動,，及恒定離子傳輸
4、帶差式泵的三級過濾四極桿,，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
5,、高靈敏度 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器，有7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
6,、可調(diào)諧的離子源,，用于電子附著選件的表觀電勢質(zhì)譜分析
7、Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護
8,、信號選通分辨率1μs,，用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布隨時間的變化
9,、1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
10,、Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
11、通過RS232,、RS485或Ethernet LAN,，控制軟件MASsoft。