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一,、等離子體介紹

1.1產(chǎn)品原理

通過(guò)對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子,、電子,、原子、自由活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）,、光子等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化,、還原,、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),，從而優(yōu)化材料表面性能,，實(shí)現(xiàn)清潔、改性,、刻蝕等目的,。

1.2行業(yè)應(yīng)用

二、產(chǎn)品介紹

2.1產(chǎn)品概述

半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)(Plasma cleaner)是國(guó)內(nèi)的“數(shù)字化大氣等離子清洗機(jī)”,，一款擁有強(qiáng)大的“CPU”的大等離子清洗機(jī),。采用穩(wěn)定性高的移相全橋軟開關(guān)電路，擁有數(shù)字通信及模擬通信兩種數(shù)據(jù)傳輸方式,，通過(guò)ARM芯片強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能,，實(shí)現(xiàn)設(shè)備數(shù)字化控制，客戶產(chǎn)線,，可達(dá)到中央控制系統(tǒng)統(tǒng)一監(jiān)控,，使清洗效果更穩(wěn)定、更持久,，抗干擾性能增強(qiáng),，減低故障率，控制維護(hù)成本,，提高產(chǎn)能,，有效減低生產(chǎn)成本。

2.2產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1,、軍工級(jí)硬件設(shè)計(jì),，使用環(huán)境溫度范圍可達(dá)到-25℃-50℃,，適應(yīng)不同的嚴(yán)苛場(chǎng)景，MTBF時(shí)間可達(dá)到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃),；
2,、數(shù)字化控制，顯示屏顯示,，實(shí)時(shí)監(jiān)控,，抗干擾強(qiáng)；
3,、采用TI品牌的移相全橋軟開關(guān)電路和PFC功率因素校正,，相對(duì)模擬硬開關(guān)電路效率可提高10%以上，響應(yīng)時(shí)間小于0.1s,，抗干擾性強(qiáng),；
4、搭載ST品牌的ARM芯片,，人機(jī)交互簡(jiǎn)單明了,，強(qiáng)大的遠(yuǎn)程調(diào)試通訊功能，無(wú)縫對(duì)接任意的應(yīng)用場(chǎng)景,，自主研發(fā)的軟件對(duì)實(shí)時(shí)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行智能判斷并協(xié)調(diào)工作,，可實(shí)現(xiàn)功率自匹配，穩(wěn)定無(wú)變化,；
5,、支持RS-485/232數(shù)字通信接口和模擬通信接口，強(qiáng)大的遠(yuǎn)程通信功能,；
6,、具有6種檢測(cè)功能：氣壓檢測(cè)、主板溫度檢測(cè),、變壓器弧壓檢測(cè)、變壓器初級(jí)峰值電流檢測(cè),，電網(wǎng)電流檢測(cè),，噴槍轉(zhuǎn)速檢測(cè)；
7,、具有十余種故障報(bào)警功能,，故障排查定位時(shí)間縮短80%以上；
8,、等離子發(fā)生器同時(shí)支持射流噴槍,、旋轉(zhuǎn)噴槍及線性寬幅，一鍵設(shè)置,，隨時(shí)變換,；
9,、具有過(guò)溫防護(hù)、過(guò)載防護(hù),、短路,、斷路、漏電防護(hù),、各種誤操作保護(hù)等防護(hù)功能,。

2.3產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

  結(jié)構(gòu)：高壓數(shù)字電源發(fā)生器、等離子發(fā)生裝置噴槍與控制系統(tǒng)組成,。

（A）高壓數(shù)字電源發(fā)生器：

等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵(lì),，本產(chǎn)品采用中頻電源進(jìn)行激勵(lì)，數(shù)字化控制方式,，可實(shí)現(xiàn)功率自匹配,，保證功率的穩(wěn)定輸出，且輸出精度高,，輸出功率不受氣壓波動(dòng),，市網(wǎng)電壓波動(dòng)，噴槍電極老化等影響,。參數(shù)需根據(jù)樣品實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)節(jié),，以便達(dá)到處理效果。

（B）等離子發(fā)生裝置噴槍：

  半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)搭配高速旋轉(zhuǎn)噴槍：主要處理大面積,、形狀較復(fù)雜的材料,，處理面積范圍20-80mm，可與原有的生產(chǎn)流水線搭配,，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn),，節(jié)約人力成本。

（C）控制系統(tǒng)：

　控制系統(tǒng)作用在于控制SPA-5800大氣等離子清洗機(jī)的運(yùn)行,，以及整體系統(tǒng)的保護(hù),。

2.4產(chǎn)品規(guī)格

2.5

2.5.2電源尺寸圖

三,、規(guī)格要求

3.1 廠務(wù)規(guī)格要求

3.2

　　注：耗材的使用壽命時(shí)間與現(xiàn)場(chǎng)的使用條件有關(guān)系,，以下壽命時(shí)間僅供參考,。