【簡單介紹】
產(chǎn)地類別 |
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儀器材質(zhì) |
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精密光學(xué)平臺機械機構(gòu),、特點,、外形設(shè)計與“氣墊式精密隔振平臺"相同,不同之處僅是未加氣墊,,該型號的平臺為廣大用戶提供了更多的選擇機會,。
精密光學(xué)平臺機械機構(gòu)、特點,、外形設(shè)計與“氣墊式精密隔振平臺”相同,,不同之處僅是未加氣墊,該型號的平臺為廣大用戶提供了更多的選擇機會,。通常采用良好的電機和傳感器技術(shù),,可以提供亞微米級別的平移和旋轉(zhuǎn)控制,使得用戶可以在一個高度準確的位置上對樣品進行操作,。為了達到更高的控制精度,,通常結(jié)合了良好的反饋系統(tǒng)和精密測量設(shè)備,可以實現(xiàn)對物體位置,、速度,、振動等多個方面的高度保持與控制。在光學(xué)試驗,、顯微學(xué)以及半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,,通常需要將樣品或器件放置在一個高度穩(wěn)定精密控制的平臺上進行操作。是一種專用于實現(xiàn)這一目的的精密運動控制裝置,。
![精密光學(xué)平臺機](https://img66.chem17.com/1cba7c2130d463f00b00e897ab733ba4222c269cc4e272107b6fe5fdcc85c1d69d4be7094a96ba66.jpg)
精密光學(xué)平臺的應(yīng)用:
顯微學(xué):是一個關(guān)鍵的工具,,用于顯微鏡圖像獲取、分析和處理過程中樣本的調(diào)整和擺放,。
半導(dǎo)體制造:在芯片制造,、線寬校準和接觸式掩模制作(photolithography)等應(yīng)用中,都發(fā)揮著重要作用,,提供高精度的位置和角度控制,。
光刻:是用于將納米或微米尺度部件寫入大型平板中的必要工具之一。
太陽能電池:在太陽能電池生產(chǎn)中,,被用于設(shè)備和材料的對準和精細控制,。
精密光學(xué)平臺的維護保養(yǎng):
1.保持平臺表面干燥、清潔,,防止灰塵等附著在上面影響穩(wěn)定性,。
2.平臺底部安裝防震墊可以抑制震動,增強其精度和穩(wěn)定性,。
3.根據(jù)制造商說明,,使用適當(dāng)?shù)臐櫥瑒┒ㄆ谶M行潤滑,確保運動間隙不會磨損過度,。
4.要避免濕度,、較高溫度和塵土過多的環(huán)境以及長時間不使用的情況下應(yīng)該妥善存放已平衡并固定好的平臺。
精密光學(xué)平臺特點:
高導(dǎo)磁不銹鋼面板,。
25×25M 6安裝螺孔方陣,。
蜂窩結(jié)構(gòu)隔振層面,、固有頻率低、隔震性能好,。
中碳鋼墻板,,剛性好。
主要參數(shù)
平面粗糙度不大于0.8μm
平面度不大于0.05mm/m2
規(guī)格
1200×800×800mm
1500×1000×800mm
1800×1200×800mm
2400×1200×800mm
其它尺寸可以定做