您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng),！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng),！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
13162861726
當前位置：上海浜田實業(yè)有限公司>>技術(shù)文章>>干法刻蝕工藝
刻蝕是用化學(xué)或物理的方法有選擇地從硅片上去除不需要材料的過程,?？涛g是在硅片上進行圖形轉(zhuǎn)移的后主要工藝步驟,。半導(dǎo)體刻蝕工藝有兩種基本方法：干法刻蝕和濕法腐蝕,。干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的主要方法,，濕法腐蝕使用液體腐蝕的加工方法,，主要用于特征尺寸較大的情況。
按照被刻蝕材料來分,，干法刻蝕主要分成：金屬刻蝕,、介質(zhì)刻蝕和硅刻蝕?？涛g也可以分成有圖形刻蝕和無圖形刻蝕,。有圖形刻蝕可用來在硅片上制作不同圖形，例如柵,、金屬互連線,、通孔、接觸孔和溝槽,。無圖形刻蝕用于剝離掩蔽層,。有圖形或無圖形刻蝕都可以分別采用干法刻蝕或濕法腐蝕。
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供,，信息內(nèi)容的真實性,、準確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任,。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險,，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
