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renishaw激光干涉儀線性角度直線回轉(zhuǎn)軸鏡組

英國(guó) renishaw 雷尼紹 XL80 激光干涉儀 鐳射 數(shù)控機(jī)床加工中心精度檢測(cè)校準(zhǔn)

 激光干涉儀是以光波為載體,，以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法，是*的高精度、高靈敏度的檢測(cè)手段，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

工作原理：

 激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡,，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器,，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干,。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào),。

 若光程差有變化時(shí),，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化,。

特點(diǎn)：

1、激光穩(wěn)頻精度 通過(guò)動(dòng)態(tài)熱控制技術(shù)將激光管長(zhǎng)度變化控制在幾納米范圍內(nèi),，達(dá)到1年內(nèi)精度為±0.05 ppm,，1小時(shí)內(nèi)精度為±0.02 ppm。

2,、線性測(cè)量精度,，精度為±0.5 ppm?？梢愿哌_(dá)50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù),，線性測(cè)量速度可達(dá)4 m/s，即使在速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm,。

3,、儀器內(nèi)置的USB意味著激光系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)之間無(wú)需單獨(dú)的接口。

4,、激光頭前部的一排LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和信號(hào)強(qiáng)度,，相當(dāng)于將屏幕軟件上的“狀態(tài)顯示”擴(kuò)展到激光頭上。

5,、可以在標(biāo)準(zhǔn) (40 m) 和長(zhǎng) (80 m) 距離模式之間切換

6,、模擬I/O端口允許模擬信號(hào)輸出和觸發(fā)信號(hào)輸入,。

 使用注意事項(xiàng)：

1、儀器應(yīng)放置在干燥,、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用,。

2、在移動(dòng)儀器時(shí),，為防止導(dǎo)軌變形,，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng),。

3,、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放,，以防止發(fā)霉,。

4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡,、分光鏡等,，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔,。

5,、導(dǎo)軌、絲桿,、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件,，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤(rùn)滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤(rùn)滑,。

6,、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況,，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件,。

7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,，保持其不失油,。

 renishaw激光干涉儀線性角度直線回轉(zhuǎn)軸鏡組