背景介紹
上海市某半導(dǎo)體廠,,專注于研發(fā)和制造專業(yè)應(yīng)用的晶圓,。晶圓生產(chǎn)工藝復(fù)雜,其中蝕刻工序使用氫氟酸溶液進(jìn)行蝕刻,、并用高純水清洗,,在這個工序中產(chǎn)生了大量的高濃度含氟廢水,含氟廢水經(jīng)過加藥,、混凝沉淀處理后達(dá)標(biāo)排放,。
該半導(dǎo)體廠在總排口處安裝了一臺FBM—160 氟離子濃度分析儀。根據(jù)國標(biāo)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)以及上海市環(huán)境保護(hù)局發(fā)布的地方標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31),,該半導(dǎo)體廠執(zhí)行三級標(biāo)準(zhǔn),,其總排口的氟限值為 20mg/L。
氟離子濃度分析儀的現(xiàn)場圖如下圖所示,,控制器采用管式安裝,,電極采用浸入式安裝。
哈希解決方案
FBM—160 氟離子濃度分析儀采用氟離子選擇電極法,,監(jiān)測方法符合國標(biāo) GB7484-1987,。氟離子濃度分析儀結(jié)構(gòu)簡單,氟離子電極現(xiàn)場采用浸入式安裝,,在無選配自動清洗組件的前提下,,每月人工清洗一次電極,三個月校準(zhǔn)一次電極,。在正常維護(hù)條件下,,每年更換一次氟離子電極。現(xiàn)場安裝方便,,維護(hù)較簡單,,測量值均低于20mg/L,和實驗室比對數(shù)據(jù)良好,,符合用戶的測量要求,。
FBM—160 氟離子濃度分析儀
FBM-160 氟離子濃度分析儀采用國標(biāo)方法監(jiān)測——氟離子選擇電極法,,不消耗試劑,,可更換電極頭,,減少維護(hù)費用,;安裝簡單,,可在現(xiàn)場采用浸入池中安裝,也可以在排口采用流通式安裝,??蛇x配自清洗組件,減少用戶的人工清洗工作,;具備多個量程,0~99.9mg/L,;0~999mg/L或0~9990mg/L,滿足含氟廢水進(jìn)排口的不同測量范圍需求,。
FBM-160 氟離子濃度分析儀廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)的含氟廢水監(jiān)測,,在正常維護(hù)下,能夠滿足用戶廢水總排口的測量需求,。
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