白光干涉儀概述:
Rtec已被多個(gè)實(shí)驗(yàn)室,、大學(xué)和行業(yè)使用。UP系列在一個(gè)頭上組合了4種成像模式,。能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試,,只需單擊按鈕,就能轉(zhuǎn)換成像模式,。這種組合可以輕松地對(duì)任何表面進(jìn)行成像如透明,、平坦、黑暗,、扁平,、彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢(shì),,并且各項(xiàng)技術(shù)彼此互補(bǔ),。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,,從而提高效率,。
3D光學(xué)輪廓儀組合
1.白光干涉儀;
2.旋轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦顯微鏡,;
3.暗視野顯微鏡,;
4.明視野顯微鏡。
主要平臺(tái)規(guī)格:
產(chǎn)品規(guī)格:
1.標(biāo)準(zhǔn)電動(dòng)平臺(tái)150x150mm(可選210x310mm)
2.標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)塔,,電動(dòng)轉(zhuǎn)塔可選
3.垂直范圍可達(dá)100mm
4.傾斜階段6度
5.XY平臺(tái)分辨率0.1um
6.自動(dòng)拼接楷模
Sigma頭 - 僅限白光干涉儀
Lambda頭 - 白光干涉儀+共焦+暗場(chǎng)+明場(chǎng)
應(yīng)用
粗糙度,;體積磨損;臺(tái)階高度,;薄膜厚度,;形貌
測(cè)試圖像示例:



以上為雙模式三維表面輪廓儀拍出的樣品形貌。在同一平臺(tái)上結(jié)合使用多種光學(xué)技術(shù),,測(cè)試儀可以測(cè)量幾乎任何類(lèi)型的nm分辨率樣品,。該表面輪廓儀配有功能強(qiáng)大的分析軟件,符合多種標(biāo)準(zhǔn),。雙模式三維表面輪廓儀能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試,,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè),,模式切換可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測(cè)儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢(shì)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,,也可以減少維護(hù)成本,,從而提高效率,。