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這是一款共聚焦（Confocal）型的視頻圖象坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,，它能夠在同一視場(chǎng)內(nèi),，同時(shí)完成二維平面和一維高度的高精度測(cè)量。高速,、高精度地檢測(cè)IC封裝的立體形狀,。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
CNC視頻圖象坐標(biāo)測(cè)量?jī)x
尼康NEXIV VMR-K3040ZC視頻圖象坐標(biāo)測(cè)量?jī)x
這是一款共聚焦（Confocal）型的視頻圖象坐標(biāo)測(cè)量?jī)x，它能夠在同一視場(chǎng)內(nèi),，同時(shí)完成二維平面和一維高度的高精度測(cè)量,。高速、高精度地檢測(cè)IC封裝的立體形狀,。
1,、2、3 型
利用共聚焦光路,，實(shí)現(xiàn)大視場(chǎng),、高速、高精度的微觀高度測(cè)量,；
在同一視場(chǎng)內(nèi),，能夠同時(shí)完成二維平面和一維高度的高精度測(cè)量；
同時(shí)擁有普通機(jī)型的15倍高速CNC變焦光學(xué)系統(tǒng),，可以進(jìn)行明暗場(chǎng)圖象的二維幾何測(cè)量,；
8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動(dòng)影象對(duì)焦以及具有掃描功能的激光自動(dòng)對(duì)焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置,；
通過(guò)對(duì)硅片尺寸,、芯片尺寸、芯片間隔的,，可以按圖定位測(cè)量其中的任意一個(gè)芯片,；
具有等高線顯示、鳥瞰顯示等選配功能,。
應(yīng)用領(lǐng)域：
硅片級(jí)芯片封裝（二維＋高度）,、MEMS、Probe Card等,。
明場(chǎng)
共聚焦
合成效果