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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
為了讓厚度量測數(shù)據(jù)清晰而又精確，一種使用良好技術(shù)的雙傳感器測厚系統(tǒng)應(yīng)運(yùn)而生,。
Solarius研發(fā)的厚度測量系統(tǒng)使用兩個(gè)上下精確對(duì)位的非接觸式傳感器,。這種測量方式快速準(zhǔn)確，允許從上下兩側(cè)同時(shí)測量樣品的一層或多層的厚度,。系統(tǒng)工作時(shí),，樣品上下兩側(cè)同步量測，這樣來自上下兩種傳感器的測量值差異將生成最終的厚度數(shù)據(jù),。
快速且精確的厚度檢測
模塊化設(shè)計(jì)
高效率大面積檢測
靈活且易于自動(dòng)化
可定制的人機(jī)交互式界面
定制化分析
非接觸式無損測量
AOP厚度測量系統(tǒng)配備一套納米級(jí)精度的XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái),，該平臺(tái)測量范圍高達(dá)400mmx400mm。兩個(gè)對(duì)稱安裝的高速點(diǎn)或線傳感器,，其高度測量范圍從2mm到145mm,，分辨率從0.2um到5um。Solarius SolarScan軟件提供自動(dòng)測量功能以及定制化程序模板,；模塊化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)為定制化分析軟件提供了較大程度的靈活性,。