您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
Solarius BGA光學(xué)3D形貌檢測分析系統(tǒng)檢測并表征半導(dǎo)體器件的參數(shù)。這種快速光學(xué)3D檢測設(shè)備符合半導(dǎo)體行業(yè)通用標(biāo)準(zhǔn),，是品保及過程控制的理想工具,。
易于自動化
快速非接觸量測
適用于在線檢測
定制化的程序和算法
定制化的數(shù)據(jù)分析
符合JEDEC標(biāo)準(zhǔn)
遵循SEMI S2/S8
BGA檢測系統(tǒng)是一套具備完整功能成套檢測系統(tǒng)。它包括一個快速非接觸式的光譜共聚焦線傳感器,，能夠以納米級的分辨率每秒測量幾十萬個點并生成3D數(shù)據(jù),。系統(tǒng)采用測量范圍高達(dá)400mmx400mm的高精度XY運(yùn)動平臺，并且配備隔振平臺,。專有的分析算法提供定制化數(shù)據(jù)分析,。