定制化共聚焦系統(tǒng)技術(shù)參數(shù) 
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
測量時間：2~10秒 
測量原理：非接觸,、共聚焦 
X/Y方向：平臺移動范圍：100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可選)，馬達驅(qū)動,，X/Y方向分辨率：0.3μm 
Z方向測量范圍：350μm,，Z方向分辨率：< 1nm 
物鏡：10X、20X,、50X,、100X(可選) 
離軸攝像頭(10X)，zui大視野8 x 6 mm2(選配) 
計算機：高性能計算機控制系統(tǒng),，功能強大且全面的軟件,，有拼接功能 
配有專業(yè)工作臺：尺寸1550x800x750 mm (LxH) 
工作電源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA 
材質(zhì)：鋼鐵,、橡膠,、大理石 
重量：約150KG+80KG 
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

  定制化共聚焦系統(tǒng)

μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取,，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式,，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù),。其測量方式是非接觸式,，不會破壞樣品的表面,，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本,，其在嚴酷的工作環(huán)境下,，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,，在測量漸變較大的高度時,，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度,，建立3D立體影像,，優(yōu)勢相當明顯。 

量身定制的測量系統(tǒng) 
      NanoFocus可提供?surf custom以滿足客戶的具體要求,。采用了模塊化設計,，豐富的硬件與軟件可以由客戶選擇。歸功于模塊化設計,，測量系統(tǒng)可滿足不同的測量任務和自動化需求,，測量方便、準確,。usurf custom是自動化質(zhì)量控制的保證,，在研究實驗室和生產(chǎn)環(huán)境有廣泛的應用,。
      μsurf custom量身定制的測量系統(tǒng)可在同一臺機器上搭配基于不同技術(shù)的多種傳感器以滿足不同的測量需求，根據(jù)測量需求及應用,，我們可為您配備*的傳感器,，同樣，為了保證zui高舒適級別的用戶體驗,，所有的傳感器控制都集成在同一軟件中,。 


定制化共聚焦系統(tǒng)應用 
μsurf系列用來測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析,，如3D表面形貌,、2D的縱深形貌、輪廓（縱深,、寬度,、曲率、角度）,、表面粗糙度等,。 
精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度,，表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件,，比如發(fā)動機汽缸、刀口等; 
生命科學：測量stents支架上鍍層厚度等 
微電子機械系統(tǒng)：微型器件的檢測,，醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測,，如基因芯片等 
半導體：檢測微型電子系統(tǒng)，封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設計 
太陽能：太陽能電池片柵線的3D形貌表征,、高寬比測量,，制絨后3D形貌表征（單晶金字塔大小、數(shù)量,、角度,，多晶腐蝕坑形貌、密度）,，粗糙度分析等 
紙張：紙張,、錢幣表面三維形貌測量 
LED：用于藍寶石襯底的測量，抽檢PSS ICP后的WAFER的3D形貌