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電子級水GB∕T11446.1-2013
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)：電子級水
（GB/T 11446.1-2013）
1 范圍
GB/T 11446 的本部分規(guī)定了電子級水的級別、技術(shù)指標(biāo)要求,、試驗(yàn)方法和檢測規(guī)則,。
本部分使用與電子和半導(dǎo)體工業(yè)永高純清洗用水,。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是需要的。凡是注日期的引用文件,，僅注日期的版本適用于本文件,。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改）適用于本文件,。
GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則
GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法
GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法
GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機(jī)碳的測試方法
GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀器測試方法
GB/T 11446.10-2013 電子級水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法
3 術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件,。
3.1
電子級水 electronic grade water
電子和半導(dǎo)體工藝過程中所用的高純水。
3.2
電阻率 resistivity
在規(guī)定溫度下,，1cm3(正立方體)水溶液兩相對面之間測得的電阻值,。通常用符號ρ表示，單位為歐姆厘米（Ω·cm）,純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm(25℃),。
3.3
全硅 total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量,。
3.4
可溶性硅 soluble silicon
以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽。
3.5微粒性物質(zhì) granular matter
除氣體外,，以非液體分散在水中,，并形成非均相混合物的物質(zhì)。
3.6總有機(jī)碳 total organic carbon,；TOC
水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量,。包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧化的有機(jī)物。
3.7吸附 absorption
某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的現(xiàn)象,。
3.8凝聚 coagulation
在源水中加入某種電解質(zhì)后,，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象,。
3.9絮凝 flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)象,。絮凝一般是再凝聚作用后緩慢進(jìn)行,，可除去水中更細(xì)的微粒。
3.10砂濾器 sand filter
用于盛放不同直徑的砂粒,，以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置,。
3.11活性碳過濾器 activated carbon filter
裝有粒狀活性碳的過濾器，用于除去水中的可溶性有機(jī)物和過量的殘余氯,。
3.12離子交換 ion exchange
一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過程,，該過程中物質(zhì)并無實(shí)質(zhì)性結(jié)構(gòu)變化。3.13離子交換樹脂 ion-exchange resin
一種合成的有機(jī)離子交換材料,。
3.14去離子水 deionized water
經(jīng)過離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水
3.15再生 regeneration
離子交換過程操作循環(huán)中的一部分,。在該部分中,，用一定量的化學(xué)試劑通過離子交換樹脂使其恢復(fù)交換能力。
3.16復(fù)合床 complex bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個(gè)離子交換柱中,，將兩柱串聯(lián),，使水依次通過兩個(gè)柱而被純化。
3.17混合床 mixed bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻,，填充于同一離子交換柱中,，其純化效果相當(dāng)于許多復(fù)合床串聯(lián)使用。
3.18電滲析 electrodialysis
一種分離水中離子的方法,。在電滲析器中,，陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分割成一系列小室,。水流通過小室時(shí),，在電流電場作用下，水中陽離子向陰極方向移動(dòng),，但不能通過陽膜,；陰離子則相反,。這樣就形成相間存在的濃,、淡水室而達(dá)到提純水的目的。
3.19逆向滲透 reverse osmosis
用半透膜將濃水和淡水隔開,，并在弄水上施加比滲透壓更強(qiáng)的機(jī)械壓力,，則濃水中大部分水透過半透膜而雜質(zhì)仍留在其中,，達(dá)到分離提純的目的,。
3.20反滲透膜 reverse osmosis membrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為0.02μm或更小，可用于除去無機(jī)離子,、有機(jī)物、細(xì)菌等,，使水純化,。
3.21微孔膜濾器 membrane filter
一種平均孔徑（直徑）大于0.01μm的薄膜，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近,。
3.22超過濾 ultrafiltration
一種過濾方法,，在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極細(xì)微粒、膠體和細(xì)菌等,。
3.23終端 terminal
高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過各道凈化工藝后，水的出口或使用地點(diǎn),。
3.24無菌 sterile
不含任何活有機(jī)體（不論是活躍的或休眠的）,。
3.25PH
水溶液中氫離子活度的負(fù)對數(shù)或氫氧根離子活度倒數(shù)的負(fù)對數(shù)。
4 分類和標(biāo)記
4.1 分類
電子級水分為四個(gè)級別：Ⅰ級,、Ⅱ級,、Ⅲ級、Ⅳ級,。
4.2 標(biāo)記
Ⅰ級電子級水標(biāo)記為：EW-Ⅰ,。
Ⅱ級電子級水標(biāo)記為：EW-Ⅱ。
Ⅲ級電子級水標(biāo)記為：EW-Ⅲ,。
Ⅳ級電子級水標(biāo)記為：EW-Ⅳ,。
5 要求
電子級水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1規(guī)定。
表1 電子級水的技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) | ||||
EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | ||
電阻率（25℃）/MΩ·cm | ≥18（5%時(shí)間不低于17） | ≥15（5%時(shí)間不低于13） | ≥12 | ≥0.5 | |
全硅/（μg/L） | ≤2 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 | |
微粒數(shù)/（個(gè)/L） | 0.05μm~0.1μm | 500 | - | - | - |
0.1μm~0.2μm | 300 | - | - | - | |
0.2μm~0.3μm | 50 | - | - | - | |
0.3μm~0.5μm | 20 | - | - | - | |
＞0.5μm | 4 | - | - | - | |
細(xì)菌個(gè)數(shù)/（個(gè)/mL） | ≤0.01 | ≤0.1 | ≤10 | ≤100 | |
銅/（μg/L） | ≤0.2 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
鋅/（μg/L） | ≤0.2 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
鎳/（μg/L） | ≤0.1 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
鈉/（μg/L） | ≤0.5 | ≤2 | ≤5 | ≤1000 | |
鉀/（μg/L） | ≤0.5 | ≤2 | ≤5 | ≤500 | |
鐵/（μg/L） | ≤0.1 | - | - | - | |
鉛/（μg/L） | ≤0.1 | - | - | - | |
氟/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
氯/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤10 | ≤1000 | |
亞硝酸根/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
溴/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
硝酸根/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
磷酸根/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
6 試驗(yàn)方法
6.1 電阻率
電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進(jìn)行測定,。
6.2 全硅含量（以二氧化硅計(jì)）
電子級水全硅（以二氧化硅計(jì)）含量按GB/T 11446.6-2013進(jìn)行測定,。
6.3 微粒數(shù)
電子級水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9-2013進(jìn)行測定。
6.4 細(xì)菌總數(shù)
電子級水中細(xì)菌總數(shù)按GB/T 11446.10-2013進(jìn)行測定,。
6.5 痕量金屬含量
電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進(jìn)行測定,。
6.6 氟離子、氯離子,、亞硝酸根離子,、溴離子、硝酸根離子,、磷酸根離子,、硫酸根離子的含量
電子級水中氟離子、氯離子,、亞硝酸根離子,、溴離子,、硝酸根離子、磷酸根離子,、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進(jìn)行測定,。
6.7 總有機(jī)碳含量
電子級水中總有機(jī)碳含量按GB/T 11446.8-2013進(jìn)行測定。
7 檢驗(yàn)規(guī)則
7.1檢驗(yàn)部門
電子級水的檢驗(yàn)均應(yīng)在有資質(zhì)的檢驗(yàn)部門進(jìn)行,。
7.2 檢驗(yàn)分類
電子級水的檢驗(yàn)分為交收檢驗(yàn)和例行檢驗(yàn),。
7.3交收檢驗(yàn)
7.3.1 抽驗(yàn)項(xiàng)目
電子級水中電阻率、鈉離子,、全硅（以二氧化硅計(jì)）為交收檢驗(yàn)項(xiàng)目,。
7.3.2 合格判據(jù)
在用水終端采樣，檢驗(yàn)后檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)或一項(xiàng)以上不合格時(shí),，應(yīng)再次采樣經(jīng)行檢驗(yàn),，如仍不合格，則該批不合格,，應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格,。
7.4 例行檢驗(yàn)（全檢項(xiàng)目）
7.4.1 檢驗(yàn)項(xiàng)目
檢驗(yàn)項(xiàng)目為表1規(guī)定的全部項(xiàng)目。檢驗(yàn)順序應(yīng)以不影響后序?qū)嶒?yàn)結(jié)果的原則進(jìn)行檢驗(yàn),。
7.4.2 不合格判定
在用水終端采樣后進(jìn)行例行檢驗(yàn),，檢驗(yàn)結(jié)果如有不合格項(xiàng)時(shí)，應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn),，如仍有不合格項(xiàng)時(shí),，應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。
7.4.3 檢驗(yàn)頻次
例行檢驗(yàn)至少每年進(jìn)行一次,，當(dāng)制水條件發(fā)生變更時(shí)也應(yīng)進(jìn)行例行檢驗(yàn),。
8 采樣、貯存,、運(yùn)輸及標(biāo)志
8.1采樣,、貯存、運(yùn)輸
電子級水的采樣,、貯存,、運(yùn)輸應(yīng)符合GB/T 11446.3-2013的規(guī)定。
8.2 標(biāo)志
在用水終端采樣進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí),，水質(zhì)合格后應(yīng)附有檢驗(yàn)合格證,，合格證應(yīng)包含如下內(nèi)容：
1. 名稱及級別；
2. 各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo),；
3. 制水單位,；
4. 供水日期；
5. 檢驗(yàn)員簽章及檢驗(yàn)日期,。