激光干涉儀CHOTESE SJ6000機床儀器測距儀具有測量*度*、測量范圍大,、測量速度快,、測速下分辨率*等優(yōu)點,結合不同的光學鏡組,,可實現(xiàn)線性測長,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的*測量,。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,,以及進行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析等分析,。
*,、激光干涉儀CHOTESE SJ6000機床儀器測距儀實物圖:
二、特點,、用途,、技術參數(shù):
- 產(chǎn)品型號:SJ6000
- 產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
- 測量方式:單頻
- 穩(wěn)頻*度:±0.05ppm
- 測量*度:±0.5ppm(0-40)℃
- 線性測量距離:(0-80)m
- 測量分辨率:1nm
- 動態(tài)采集頻率:50KHz
- 預熱時間:≤6分鐘
- 工作溫度范圍:(0-40)℃
- 環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
- 主要特點:應用范圍廣,、測量*度*,、操作方便
1. 產(chǎn)品簡介
激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,,是迄今*的*,、*靈敏度的測量儀器,在*端制造領域應用廣泛,。
SJ6000激光干涉儀集光,、機、電、計算機等技術于*體,,產(chǎn)品采用進口*性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時,;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,,可實現(xiàn)*、*干擾能力強,、穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,;采用*速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術,,可實現(xiàn)4m/s的測量速度,,以及納米級的分辨率;采用*環(huán)境補償模塊,,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,;采用*性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術,支持中文,、英文和俄文語言,,友好的人機界面、向導式的操作流程,、簡潔化的記錄管理,。
SJ6000激光干涉儀具有測量*度*、測量范圍大,、測量速度快,、測速下分辨率*等優(yōu)點,結合不同的光學鏡組,,可實現(xiàn)線性測長,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的*測量,。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,,以及進行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等,。
2.產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖*列,,依次為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動*密轉臺,。
其中,,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構成,。可滿足線性位移設備的定位*度,、重復定位*度,、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償,。
3.工作原理
激光器發(fā)射單*頻率光束射入線性干涉鏡,,然后分成兩道光束,*道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,,而*道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入*個反射鏡,,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,,其中會有*個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖),。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩*之間找到穩(wěn)定的信號,。
若光程差有變化時,,探測器會在每*次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩*之間找到變化信號,,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化,。
4. 產(chǎn)品功能特點
◆*度*
SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義,。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,,可實現(xiàn)*、*干擾能力強,、穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,;采用*環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,,避免干涉鏡受熱影響,,干涉光路穩(wěn)定可靠。
◆功能廣
● 可實現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度、平面度,、回轉軸等幾何參量的**密測量,;
● 可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等*密運動設備其導軌的線性定位*度,、重復定位*度等,,以及導軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等;
● 可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準,;
● 可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,,為設備誤差修正提供依據(jù);
● 具有動態(tài)測量與分析功能,,包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等,;
● 支持手動或自動進行環(huán)境補償。
◆軟件強
● 友好的人機界面,;
● 豐富的應用功能模塊,;
● 向導式的操作流程;
● 簡潔化的記錄管理,;
● 支持中文,、英文和俄文界面;
● 支持企業(yè)*屬模板定制,。
三,、使用環(huán)境幾保養(yǎng):
1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用,。
2,、在移動儀器時,為防止導軌變形,,應托住底座再進行移動,。
3、儀器的光學零件在不用時,,應在清潔干燥的器皿中進行存放,,以防止發(fā)霉。
4,、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡,、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,,利用*的方法進行清潔,。
5、導軌,、絲桿,、螺母與軸孔部分等傳動部件,應當保持良好的潤滑,。因此必要時要使用*密儀表油潤滑,。
6、在使用時應避免強旋,、硬扳等情況,,合理恰當?shù)恼{(diào)整部件。
7,、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿,,保持其不失油。
維護/激光干涉儀
1,、儀器應妥善地放在干燥,、清潔的房間內(nèi),防止振動,,儀器搬動 時,,應托住底座,以防導軌變形,。
2,、光學零件不用時,應存放在清潔的干燥盆內(nèi),,以防止發(fā)霉,。反光鏡,、分光鏡*般不允許擦拭,必要擦拭時,,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,,再用脫脂清潔棉花球滴上混合液輕拭。
3,、傳動部件應有良好的潤滑,。特別是導軌、絲桿,、螺母與軸孔部分,,應用T5*密儀表油潤滑。
4,、使用時,,各調(diào)整部位用力要適當,不要強旋,、硬扳。
5,、導軌面絲桿應防止劃傷,、銹蝕,用畢后,,仍保持不失油狀態(tài),。
6、 經(jīng)過*密調(diào)整的儀器部件上的螺絲,,都涂有紅漆,,不要擅自轉動。