激光干涉儀CHOTESE SJ6000機床儀器測距儀具有測量*度*,、測量范圍大、測量速度快,、測速下分辨率*等優(yōu)點,,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的*測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,,可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,,如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等分析,。
*、激光干涉儀CHOTESE SJ6000機床儀器測距儀實物圖:
二,、特點,、用途、技術(shù)參數(shù):
- 產(chǎn)品型號:SJ6000
- 產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
- 測量方式:單頻
- 穩(wěn)頻*度:±0.05ppm
- 測量*度:±0.5ppm(0-40)℃
- 線性測量距離:(0-80)m
- 測量分辨率:1nm
- 動態(tài)采集頻率:50KHz
- 預(yù)熱時間:≤6分鐘
- 工作溫度范圍:(0-40)℃
- 環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,,環(huán)境濕度:0-95%
- 主要特點:應(yīng)用范圍廣,、測量*度*、操作方便
1. 產(chǎn)品簡介
激光干涉儀以光波為載體,,其光波波長可以直接對米進行定義,,是迄今*的*、*靈敏度的測量儀器,,在*端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。
SJ6000激光干涉儀集光、機,、電,、計算機等技術(shù)于*體,產(chǎn)品采用進口*性能氦氖激光器,,其壽命可達50000小時,;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)*,、*干擾能力強,、穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用*速干涉信號采集,、調(diào)理及細分技術(shù),,可實現(xiàn)4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率,;采用*環(huán)境補償模塊,,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;采用*性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),,支持中文,、英文和俄文語言,友好的人機界面,、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/span>
SJ6000激光干涉儀具有測量*度*、測量范圍大,、測量速度快,、測速下分辨率*等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的*測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,,可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。
2.產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖*列,,依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動*密轉(zhuǎn)臺,。
其中,線性鏡組為標(biāo)配,,由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位*度,、重復(fù)定位*度、反向間隙的測量與分析,,以及反向間隙修正和螺距補償,。
3.工作原理
激光器發(fā)射單*頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,,*道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,,而*道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入*個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,,其中會有*個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖),。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩*之間找到穩(wěn)定的信號,。
若光程差有變化時,,探測器會在每*次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩*之間找到變化信號,,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化,。
4. 產(chǎn)品功能特點
◆*度*
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進行定義,。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),,可實現(xiàn)*、*干擾能力強,、穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,;采用*環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,;干涉鏡與主機分離設(shè)計,,避免干涉鏡受熱影響,干涉光路穩(wěn)定可靠,。
◆功能廣
● 可實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的**密測量,;
● 可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等*密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位*度,、重復(fù)定位*度等,,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等;
● 可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),;
● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
● 具有動態(tài)測量與分析功能,,包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,,可進行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,;
● 支持手動或自動進行環(huán)境補償,。
◆軟件強
● 友好的人機界面;
● 豐富的應(yīng)用功能模塊,;
● 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/span>
● 簡潔化的記錄管理,;
● 支持中文、英文和俄文界面,;
● 支持企業(yè)*屬模板定制,。
三、使用環(huán)境幾保養(yǎng):
1,、儀器應(yīng)放置在干燥,、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。
2,、在移動儀器時,,為防止導(dǎo)軌變形,應(yīng)托住底座再進行移動,。
3、儀器的光學(xué)零件在不用時,,應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放,,以防止發(fā)霉。
4,、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡,、分光鏡等,如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭,,利用*的方法進行清潔,。
5、導(dǎo)軌,、絲桿,、螺母與軸孔部分等傳動部件,應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑,。因此必要時要使用*密儀表油潤滑,。
6、在使用時應(yīng)避免強旋,、硬扳等情況,,合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件,。
7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,,保持其不失油,。
維護/激光干涉儀
1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥,、清潔的房間內(nèi),,防止振動,儀器搬動 時,,應(yīng)托住底座,,以防導(dǎo)軌變形。
2,、光學(xué)零件不用時,,應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉,。反光鏡,、分光鏡*般不允許擦拭,必要擦拭時,,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,,再用脫脂清潔棉花球滴上混合液輕拭。
3,、傳動部件應(yīng)有良好的潤滑,。特別是導(dǎo)軌、絲桿,、螺母與軸孔部分,,應(yīng)用T5*密儀表油潤滑。
4,、使用時,,各調(diào)整部位用力要適當(dāng),不要強旋,、硬扳,。
5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷,、銹蝕,,用畢后,仍保持不失油狀態(tài),。
6,、 經(jīng)過*密調(diào)整的儀器部件上的螺絲,都涂有紅漆,,不要擅自轉(zhuǎn)動,。