無(wú)塵室(Clean Room),，亦稱為無(wú)塵室或清凈室,。它是污染控制的基礎(chǔ)?？刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣,、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度,、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。

無(wú)塵室的潔凈度往往受到氣流的影響,，換言之,，即人、機(jī)器隔間,、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng),、擴(kuò)散受到氣流的支配。

無(wú)塵室系利用HEPA,、ULPA過(guò)濾空氣,，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈,。然而無(wú)塵室內(nèi)除了人以外,，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,，即無(wú)法保持潔凈空間,，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

無(wú)塵室內(nèi)的氣流是左右無(wú)塵室性能的重要因素,，一般無(wú)塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人,、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂,、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以zui適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果,。

另一方面欲達(dá)到無(wú)塵室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素,，均一氣流若無(wú)法保持,，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面,，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難,。

垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異,。速度過(guò)低或過(guò)高（0.2m/s,，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度,，氣流則較均一，（21世紀(jì)80,、90年代）一般無(wú)塵室,，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。

影響無(wú)塵室的氣流因素很多,，如制程設(shè)備,、人員、無(wú)塵室組裝材,、照明器具等,，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素,。