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多功能微波等離子體實驗裝置
型號：ZH5501

貨號：ZH5501

產(chǎn)品簡介
自然界中物質(zhì)的形態(tài)除了固,、液、氣三種形態(tài)之外,，還存在第四態(tài),，即等離子體狀態(tài)。等離子體的產(chǎn)生過程為：固體物質(zhì)在受熱的情況下熔化成液體,，液體進一步受熱后變成氣體,，氣體進一步受熱后,，中性的原子和分子電離成離子和電子,，形成等離子體。由于等離子體中含有大量具有高能量的活性基團,，這使得等離子體能夠參與或發(fā)生許多不同的化學(xué)或物理反應(yīng),。
本裝置是我公司和武漢工程大學(xué)等離子體化學(xué)與新材料重點實驗室聯(lián)合研制。由微波源,、真空系統(tǒng),、供氣系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng),、微波傳輸及微波諧振腔組成,；由微波源產(chǎn)生的頻率為2.45GHz的微波,，沿矩形波導(dǎo)管傳輸,，經(jīng)過調(diào)整短路活塞,，zui后在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵氣體形成軸對稱的等離子體球。
可開設(shè)的實驗：在基材（如硅片）上完成微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備種功能薄膜材料（如BN薄膜,、金剛石薄膜,、氮化碳薄膜等）、微波等離子體刻蝕加工實驗,、材料表面改性、微波等離子體清洗材料表面,、微波等離子體化學(xué)合成等實驗,；適合大學(xué)物理,、材料,、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實驗及教師。培養(yǎng)學(xué)生掌握等離子體的應(yīng)用,。
本裝置需另配光學(xué)顯微鏡,、超聲波清洗機、氣源,。隨機配備基材,、金剛石微粉。
主要特點：
1 內(nèi)部電,，可避免放電污染,，運行氣壓范圍寬，能量轉(zhuǎn)換效率高,，可產(chǎn)生大范圍的高密度等離子體,。
2 設(shè)有垂直交叉的兩個方向的透明觀察窗,，可直觀觀察等離子體的放電特性,。
3 微波等離子體刻蝕精度達到亞微米。制備種功能薄膜材料的速率較快,。
主要參數(shù)及性能：
1,、微波源：功率0~800W連續(xù)可調(diào)輸出；
2,、真空系統(tǒng)：采用旋片真空泵,，單相220V交流電源，限真空6×10-1帕,，抽速2升/秒,；真空計采用數(shù)顯壓阻式真空計和熱偶真空計聯(lián)合作用,，用于測量本底真空和工作時的工作氣壓。真空密封采用金屬和橡膠密封,；真空調(diào)節(jié)采用隔膜閥粗調(diào)和微調(diào)閥精細(xì)調(diào)節(jié),，調(diào)節(jié)快速方便、穩(wěn)定性好,。
3,、供氣系統(tǒng)：有兩路立供氣氣路，通過轉(zhuǎn)子流量計控制流量,。
4,、自帶冷卻水循環(huán)系統(tǒng)形成冷卻水。制冷系統(tǒng)可冷卻水溫度在30度以下,，水源要求,。
5、微波傳輸及微波諧振腔：配有環(huán)行器,、水負(fù)載和三螺釘阻抗調(diào)配器,，可微波源的工作；配有微波反射測量系統(tǒng),，等離子體zui大限度地吸收微波能,。反應(yīng)室工作壓強：幾帕～十千帕；反應(yīng)室限壓強：6×10-1帕,；真空反應(yīng)室石英管腔體尺寸：Φ50mm,；基片溫度范圍：200～1000℃；電磁波功率：0～800W,；接地線＜3Ω,。