1. 悠久的電子顯微鏡研究及生產(chǎn)歷史
ZEISS公司具有悠久的電鏡研究、生產(chǎn)歷史,，在世界上一直處于地位。
當(dāng)今的ZEISS公司納米技術(shù)系統(tǒng)分部(The Nano Technology Systems Division of Carl Zeiss SMT)由德國本部電鏡生產(chǎn)基地和英國劍橋廠及其他配件廠組成,。積掃描電鏡領(lǐng)域及透射電鏡領(lǐng)域多年的研發(fā)經(jīng)驗(yàn),，ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個一：
一臺靜電式 TEM (1949)
一臺商用 SEM (1965)
一臺全數(shù)字 SEM (1985)
一臺帶有成像濾波器的 TEM (1992)
一臺可變壓力 FE-SEM (2001)
一臺具有Koehler照明的 200kV FE EFTEM (2003)
一臺具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的EFTEM (2003)
卡爾蔡司 ZEISS鎢燈絲掃描電子顯微鏡經(jīng)歷了Cambridge、OPTON、LEICA,、LEO等發(fā)展階段,，現(xiàn)已具有鎢燈絲掃描電鏡、場發(fā)射掃描電鏡,、雙束顯微鏡(FIB and SEM),、透射電子顯微鏡等生產(chǎn)能力的廠家。其產(chǎn)品的高性能,、高質(zhì)量,、高可靠性和穩(wěn)定性已得到廣大用戶的信賴與認(rèn)可。
2. *儀器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
ZEISS鎢燈絲掃描電子顯微鏡采用通用的鏡體設(shè)計(jì),，可配備各種不同的附件,，適應(yīng)各種分析的需要。并具有靈活的可升級性,，可按照用戶研究工作發(fā)展的需要進(jìn)行升級,。各種類型的掃描電鏡均有高真空、低真空(或超低真空)型號,，以滿足不同樣品檢測的需要,。
3. 技術(shù)性能
高分辨率 ： 目前，鎢燈絲掃描電鏡的分辨率達(dá)到3nm,，能夠滿足失效分析,、材料研究等方面的需要。
大樣品室： ZEISS掃描電鏡具有世界上大的樣品室,，樣品室內(nèi)部尺寸為Φ365mm×275mm,，全對中的樣品臺，可放置的大樣品尺寸為Φ250mm×145mm,，樣品臺大承載重量為5kg,，方便各種大樣品的分析。
高效無污染真空系統(tǒng)： ZEISS各種型號的掃描電鏡均采用了渦輪分子泵抽真空,，其抽真空速度快,、無污染、免維護(hù)是其大的優(yōu)勢,。還可提供無油的真空系統(tǒng),。
自動化操作： 新型的掃描電鏡全部采用當(dāng)前*計(jì)算機(jī)集成自動化控制，采用Windows視窗操作系統(tǒng),、圖形用戶控制界面,，全部操作可用鍵盤和鼠標(biāo)完成。樣品臺坐標(biāo)軸全部馬達(dá)驅(qū)動,，軟件功能強(qiáng)大,，操作非常簡單和方便。
五軸馬達(dá)自動控制全對中樣品臺：X:125mm Y:125mm Z:50mm T: 0～+90度 R:360度。
高穩(wěn)定性,、可靠性： ZEISS掃描電鏡具有很高的穩(wěn)定性,，鏡筒、電路板等均采用了水冷,，保證了其工作的穩(wěn)定與可靠,。
4. 全面的成像解決方案
ZEISS的鎢燈絲掃描電鏡可以提供高真空、低真空和超低真空工作模式,，對任何材料都沒有局限性,，滿足金屬、陶瓷,、地礦,、化工、半導(dǎo)體,、生命科學(xué)等所有研究領(lǐng)域需要,。其超大樣品室預(yù)留足夠端口，可搭配能譜,、波譜,、背散射電子衍射、陰極熒光等,，樣品臺可裝加熱臺,、冷卻臺和拉伸臺以滿足各種研究需要。其大束流和優(yōu)異的束流穩(wěn)定度支持各種大束流和長時間的分析,。
掃描電鏡的強(qiáng)大功能已使其成為研究所以及工廠的微觀失效分析的一個基本工具,，為失效分析提供真實(shí)確切的證據(jù)，提高相應(yīng)領(lǐng)域的分析水平,。廣泛應(yīng)用于航空航天,、交通、材料,、冶金,、地礦、半導(dǎo)體,、生命科學(xué)等方面,。
5. 低真空的應(yīng)用
在失效分析中，除了金屬樣品外,，還有很多非金屬樣品,，這些樣品導(dǎo)電性很差。要分析這些非導(dǎo)電樣品,，樣品的充電是不可避免的,。由于電子束打到樣品上使樣品帶電,，其產(chǎn)生的電場影響了二次電子的產(chǎn)生和接收,，使圖像上呈現(xiàn)一片片亮的或暗的區(qū)域,，無法進(jìn)行正常觀察。要對這些非導(dǎo)電樣品進(jìn)行分析,，就必須排除樣品充電的影響,。其方法之一就是將樣品上的電荷中和掉。ZEISS掃描電鏡所采取的措施是：使樣品室處于低真空狀態(tài),，樣品表面所產(chǎn)生的二次電子與樣品室中的氣體分子相碰撞,，使氣體電離，這些氣體離子附著于樣品表面,，將樣品上所帶的電荷中和掉,。使用專用的探測器，接收二次電子與氣體分子相碰撞時產(chǎn)生的光子,，這些光子也就代表了二次電子信號,，使成像不受樣品導(dǎo)電性的影響，在分析這些樣品時能夠得到理想的成像,。
對于一些含水,、含油的樣品，可以采用更低的真空度,，使水分在該壓力,、溫度下不至于揮發(fā)，這樣便可觀察到真實(shí)的生物樣品形貌,。
6. 具有多種觀察模式,，
分辨率模式、景深模式,、分析模式,、視場模式、魚眼模式,。
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