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• 更靈活的成像工具 – 配備Gemini 1鏡筒的蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360可以實(shí)現(xiàn)各種樣品的高分辨成像,、分析和各種應(yīng)用需求的拓展,。

• 更強(qiáng)大的分析能力 - 配備Gemini 2鏡筒的蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460可應(yīng)對更加復(fù)雜的分析工作。連續(xù)可調(diào)的大束流使您可以在成像和分析條件之間無縫切換,。

• 更好的表征體驗(yàn) - 蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560配有Gemini 3鏡筒及其新型電子光學(xué)引擎,，讓它在各種工作條件下均可發(fā)揮該系列分辨率特性。

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斯圖加特大學(xué)應(yīng)用量子技術(shù)中心ZAQuant的Mario Hentschel博士描述了該小組正在研究的課題和應(yīng)用、在實(shí)驗(yàn)室中面臨的挑戰(zhàn)以及如何利用蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560應(yīng)對這些挑戰(zhàn),。

“我們正在研究光學(xué)感應(yīng)和檢測應(yīng)用中最復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)。因此,，我們必須在納米尺度檢查和表征我們的器件,。深入了解樣品信息不僅是過程控制和優(yōu)化的核心，在解釋感應(yīng)和檢測方案中涉及的局部現(xiàn)象時(shí)也不可少,。除了單純的表面形貌信息外,，我們也對納米材料組成分以及有意和無意的局部雜質(zhì)感興趣。

"所有這些應(yīng)用都要求電子顯微鏡具有高分辨率與樣品適用性,。蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560可以很好地兼顧這兩點(diǎn),。它提供豐富的探測器選擇，從而能夠?qū)Ρ砻娓叩推鸱?、材料襯度,、表面邊緣以及樣品的所有不同特征進(jìn)行成像和突出顯示。在日常工作中,，我們經(jīng)常面對差異極大的樣品如形狀大小不同材料組成不同,，給顯微表征帶來了很大的挑戰(zhàn)。我們能夠?qū)σ髽O為嚴(yán)苛且高難度的樣品（例如高度絕緣的聚合物和塑料）拍出高質(zhì)量的圖像,，使荷電效應(yīng)的影響極小化,。該系統(tǒng)可以在低倍和放大倍率下成像。在不久的將來,，場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560將被安裝在斯圖加特應(yīng)用量子技術(shù)中心（ZAQuant）新建研究大樓的潔凈室中,。ZAQuant的主要研究人員來自物理、機(jī)械,、電氣工程,、化學(xué)等不同領(lǐng)域,，其應(yīng)用千差萬別，因此不僅要保持優(yōu)異的成像性能,，還必須確保樣品適用性,。因此，場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560無疑將成為實(shí)驗(yàn)表征的利器,。"

DE.Mario Hentschel博士,，德國斯圖加特大學(xué)第4物理研究所和應(yīng)用量子技術(shù)中心。