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POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版
POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 標準版
POLOS® SPIN150X 基材旋涂機 PTFE 高級版
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 生物產業(yè),綜合 |
|---|
POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版
POLOS® SPIN200x是一種多功能,、高質量的基材旋涂機,，由PTFE 制成。
它專為研發(fā)和小批量生產而設計,。
可以同時實現臺式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本,，用于手動或自動（可選）化學藥劑分配。
適用于涂層,、清潔,、沖洗/干燥、顯影,、蝕刻,、PDMI 及其他工藝。
POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版
腔室規(guī)格:
- 最大支持8" (200mm) 晶圓
- 最大支持6" x 6" (105mm) 基板
- 材質: PTFE
硬件規(guī)格
- 液體過濾器
- 具有特殊的外殼和排水設計,，可在現場輕松切換臺式和嵌入式型號.
- 配備中心注射架,，用于安裝注射器或分配噴嘴
- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
-大型（可拆卸）觸摸顯示屏
- USB 端口，用于在 USB 驅動器上存儲配方和進行軟件更新
- 8 I/O 端口
- 能夠定義電機歸零位置,，便于在機器人控制/自動化環(huán)境中進行集成
- 通過集成步進電機實現自動開蓋和關蓋.
驅動單元規(guī)格:
- 采用間接無刷驅動單元
- 最高轉速可達12,000 RPM（取決于基板/卡盤）
- 具有高加速度和高精度
- 加/減速范圍為1-30,000 RPM
- CW,、CCW旋轉和Puddle選項
隨附旋涂儀卡盤和適配器:
-隨附1x A-V87-S96-PP-HD, 真空卡盤
或
-隨附1 x A-V36-S45-PTFE-HD, 真空卡盤
-隨附1 x D-V10-S50-PTFE-HD, 碎片適配器
- FCA SPS-Europe, The Netherlands
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