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生物產(chǎn)業(yè),綜合 |
POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) NPP 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī),,由NPP 制成,。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計,。
可以同時實現(xiàn)臺式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手動或自動(可選)化學(xué)藥劑分配,。
適用于涂層,、清潔、沖洗/干燥,、顯影,、蝕刻、PDMI 及其他工藝,。
POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) NPP 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN150x是一種多功能,、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī),由NPP 制成,。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計,。
可以同時實現(xiàn)臺式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手動或自動(可選)化學(xué)藥劑分配,。
適用于涂層,、清潔、沖洗/干燥,、顯影,、蝕刻、PDMI 及其他工藝,。
POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) NPP 標(biāo)準(zhǔn)版
腔室規(guī)格:
- 最大支持6英寸(150毫米)晶圓
- 最大支持4英寸×4英寸(100毫米)
- 材質(zhì): 天然聚丙烯(NPP)
硬件規(guī)格:
- 液體過濾器
- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計,,可在現(xiàn)場輕松切換臺式和嵌入式型號.
- 配備中心注射架,用于安裝注射器或分配噴嘴
- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
-大型(可拆卸)觸摸顯示屏
- USB 端口,,用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進(jìn)行軟件更新
- 3 I/O端口
驅(qū)動單元規(guī)格:
- 采用間接無刷驅(qū)動單元
- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM(取決于基板/卡盤)
- 具有高加速度和高精度
- 加/減速范圍為1-30,000 RPM
- CW,、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項
隨附旋涂儀卡盤和適配器:
-隨附1 x A-V36-S45-PP-HD, 真空卡盤
-隨附1 x D-V10-S50-PP-HD, 碎片適配器
- FCA SPS-Asia, Singapore
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