日本CKD化學(xué)液體用氣控閥AMD413R-20BUP-00N4F

①供液用化學(xué)液體閥 AMD※1H,、MMD※0H系列

滿足Fab的高壓/大流量需求

液體供給線的綜合解決方案?。?/span>

■支持0.7MPa高壓,、高背壓,。

■氣動閥、手動閥產(chǎn)品系列,。

■焊管用伸出管產(chǎn)品系列,。

■便于確認(rèn)動作（帶指示器）。

■附帶防過度擰緊,、安全鎖緊機構(gòu)（手動閥）,。

②化學(xué)液體用氣控閥 集成閥GAMD0※2A系列

適用于半導(dǎo)體用清洗裝置的小型集成閥

■□30種尺寸適用于φ10氣管的小型大流量集成閥。

■支持流體壓力0.5MPa,、背壓0.3MPa的高壓,。

■接觸液體部位由PFA、PTFE構(gòu)成,，適用于腐蝕性流體的化學(xué)液體

分流,。

■2～5連為標(biāo)準(zhǔn)品系列。

■對應(yīng)配管尺寸φ6,、φ8,、φ10、1/4",、3/8",。

③精密減壓閥 PYM10、PMM20,、PMP202,、402系列

在半導(dǎo)體及LCD制造等使用潔凈化學(xué)液體（包括純水）的裝置

內(nèi),，用于控制化學(xué)液體壓力的減壓閥

■強力去異物過濾器內(nèi)置型

■流量及壓力特性優(yōu)異,，安裝簡單

■優(yōu)良的耐腐蝕性

接觸液體部位采用氟樹脂（PFA、PTFE）以及SUS316,，可以發(fā)揮優(yōu)良的耐腐蝕性

■優(yōu)良的壓力及流量特性

采用氟樹脂膜片,，與金屬膜片相比，壓力及流量特性優(yōu)異,。

■內(nèi)置過濾器,，安全處理流體內(nèi)的異物。

■采用面板安裝方式,，安裝簡便,，可進行底面安裝

■先導(dǎo)減壓閥

減壓閥通過先導(dǎo)空氣控制可以調(diào)節(jié)為穩(wěn)定的壓力

④先導(dǎo)式3、4通閥 MN3E,、MN4E系列

■環(huán)保

通過小型化,、省電化，實現(xiàn)了輕量化、材料用量的減少和節(jié)能化,。致力于減少影響環(huán)境的化學(xué)物質(zhì)的使用,，以焊接的無鉛化為主，使用材料符合JIG-101標(biāo)

準(zhǔn),。

■小型,、省空間

除閥模塊寬10mm型的MN3/4E0 系列以外，還新增了閥模塊寬7mm,、集成間距

7mm的MN3/4E00型,。7mm間距，更緊湊的集成閥有助于裝置的小型化,、高集成

化,。

■高性能

·A口/B口均衡的響應(yīng)性12ms。（N3E0 3通閥2個內(nèi)置型的本公司數(shù)據(jù)值）

·無需繁瑣的接線作業(yè)

連接接插件后,，可同時完成組裝和配線,。

■安全性

·預(yù)防誤動作標(biāo)配排氣誤動作防止閥、進一步防止誤操作的手動裝置保護罩,、防止異

物混入用的供氣過濾網(wǎng),。追求*的安全性，預(yù)防閥誤動作,。

⑤搭載2個3通閥的電磁閥集成閥MN3Q系列

■小型

通過降低集成的高度（高34mm）,，可以安裝在狹小的空間

■安裝

安裝方式從DIN導(dǎo)軌安裝和直接安裝中選擇

■配管

由于可選擇供氣排氣氣口的接出位置，配管時回旋自由度提高了

日本CKD化學(xué)液體用氣控閥AMD413R-20BUP-00N4F

型號選擇時的注意事項

注1：F-LOCK60系列接頭及PTFE閥體材質(zhì)為接單生產(chǎn)品,。

關(guān)于其它連接方式,，請咨詢本公司。

注2：控制氣口方向,、安裝板請參照外觀尺寸圖,。

注3：執(zhí)行元件選擇項：帶傳感器的情況，請咨詢本公司,。

注1：因為大多數(shù)情況下是各種化學(xué)液體的混合液,，因此一般無法把握所有影響。

請充分確認(rèn)產(chǎn)品構(gòu)成材料與所使用流體的適用性,，判斷是否可以使用,。

注2：如為氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體，則流體溫度為5～80℃,。

氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體無法在帶旁通閥體中使用,。

注3：在100℃以上的條件下使用硫酸 + 過氧化氫溶液時，請與本公司協(xié)商,。

注4：在流體溫度為80℃以上的條件下使用胺類剝離劑時,，請定期進行更換。

參考標(biāo)準(zhǔn)為少1次/1年。

注5：用于氣體時,，可能會發(fā)生大1cm3

/分鐘（空氣壓條件下）的閥座泄漏,。

判定

● 可使用。（詳細內(nèi)容在產(chǎn)品記載頁確認(rèn),。）請與本公司協(xié)商,。（在某些條件下可適用。）

× 不可使用,。