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日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧,、輕盈型

工作原理：
利用反射光量檢測時,，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件,，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測,。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小,。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
M-DW1以反射光的位置來檢測,，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì),，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同,。
因此，對于使用單波長激光的傳感器,，可能會因光全被吸收而無法檢測,。

尺寸圖

單位mm

日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧、輕盈型

詳細(xì)資料：
而LED光源的光具有定波長段,，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測,。
實現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度,。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
可從四個方向引出電纜
傳感器可以從正前方,、右側(cè)、左側(cè),、下方四個方向引出電纜,。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié),。
可從四個方向引出電纜
內(nèi)置放大器的小巧,、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，約為75g的小巧,、輕盈型,。
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員,，十分危險,。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全,。

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