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與原子吸收及發(fā)射光譜方法相比，TXRF具有如下優(yōu)勢(shì)：

1,、無(wú)需復(fù)雜的樣品前處理過(guò)程,，原子吸收或ICP的樣品前處理占據(jù)了整個(gè)分析過(guò)程的絕大部分時(shí)間，通常耗時(shí)幾個(gè)小時(shí)甚至幾天,，同時(shí)TXRF能有效避免前處理引入的誤差,；

2、對(duì)于易揮發(fā)元素有良好檢測(cè)效果,，如Hg/As/Se在消解過(guò)程中會(huì)損失,，Cl/Br/I等ICP檢測(cè)效果較差；

3,、檢測(cè)元素種類(lèi)更多,，可達(dá)80余種, 元素分析范圍從Na覆蓋到U；

4,、檢出限更低,，多數(shù)元素在ppt級(jí)，尤其Pb/Rh等元素,，而原子吸收或ICP為ppb級(jí),。

 

與ICP-MS方法相比,，兩者檢出限基本持平，但TXRF可以無(wú)視ICP-MS如下痛點(diǎn)：

1,、ICP-MS的耐鹽度較差,，分析高鹽分樣品時(shí)檢出限差（S/Ca/Fe/K/Se等），同時(shí)酸基體對(duì)于測(cè)量影響顯著,，如鹽酸,、高氯酸、磷酸,、硫酸會(huì)引起質(zhì)譜干擾,；

2、ICP-MS根據(jù)質(zhì)核比檢測(cè)元素,，當(dāng)存在同質(zhì)異位素時(shí),，很難的完成檢測(cè)；

3,、ICP-MS需要超凈實(shí)驗(yàn)室,，造價(jià)昂貴；

4,、ICP-MS運(yùn)行成本高,，取樣錐、渦輪泵,、檢測(cè)器為易損件,。