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PicoFemto原位掃描電鏡光電力一體化系統(tǒng)，集成了掃描探針控制單元,，可在三維空間內(nèi)對電學探針與光纖探針進行亞納米級別精度的操縱與定位。通過電學探針施加電場,，通過光纖施加光場,，對單個納米結(jié)構(gòu)進行操控并進行電學性質(zhì)、光電性質(zhì)的測量,。并可在物性測量的同時,，動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu),、化學組分,、元素價態(tài)進行綜合表征,，大大地擴展了掃描電鏡的功能與應用領(lǐng)域。

• 性能指標

電學測量指標：

△ 包含一個電流電壓測試單元,；

△ 電流測量最大±1.5 A,，最小±100 fA；

△ 電壓輸出最大±200 V,，最小±100 nV,；

△ 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量,，自動保存,。

掃描探針操作指標：

△ 粗調(diào)范圍：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm,；

△ 細調(diào)范圍：XY方向18 um,，Z方向1.5 um；

△ 細調(diào)分辨率：XY方向0.4 nm,，Z方向0.04 nm,。

光纖指標：

△ 光纖外徑250 um，保證電鏡系統(tǒng)真空指標,；

△ 可選光纖探針,、平頭光纖、光纖透鏡,；

△ 可選SMA接頭,、FC接頭。

力學傳感器指標：

△ 最大載荷100 mN（可選0.1 mN,、1 mN,、10 mN、100 mN）,；

△ 力測量實測噪聲優(yōu)于5nN（0.1 mN最大載荷時）,；

△ 力測量實測分辨率優(yōu)于5 nN（0.1 mN最大載荷時）；

△ 自動測量力-距離曲線,，自動保存